(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202220286235.1 (22)申请日 2022.02.11 (73)专利权人 乌兰察布南大微电子材 料有限公 司 地址 012000 内蒙古自治区乌兰察布市集 宁区商务科技文化中心B区5号楼101 (72)发明人 崔同超　达布力干 　郭宏　窦兆丁　 张石磊　苗彦军　吴凯　 (74)专利代理 机构 青岛发思特专利商标代理有 限公司 37212 专利代理师 李文培 (51)Int.Cl. B62B 3/00(2006.01) B62B 5/00(2006.01) C25B 1/245(2021.01) (54)实用新型名称 三氟化氮电解液转 运槽 (57)摘要 本实用新型公开了一种三氟化氮电解液转 运槽， 其属于三氟化氮加工领域。 它主要包括转 运槽本体， 转运槽本体一端设有密封进液口， 转 运槽本体另一端底部设有密封出液口， 所述转运 槽本体内设有多个等间距设置的挡板， 挡板与转 运槽本体内壁固定连接， 挡板底部设有流通孔， 挡板上方多个设有大孔， 大孔上方设有小孔。 本 实用新型结构简单， 使用方便， 转运槽本体内增 设多个挡板， 可有效缓冲电解液转运过程中的剧 烈晃动， 同时转运槽本体外通过多个加热环进行 保温， 避免了电解液凝固。 本实用新型主要用于 三氟化氮电解液转 运。 权利要求书1页 说明书2页 附图2页 CN 216734335 U 2022.06.14 CN 216734335 U 1.一种三氟化氮电解液转运槽， 包括转运槽本体(8)， 转运槽本体(8)一端设有密封进 液口(11)， 转运槽本体(8)另一端底部设有密封出液口(4)， 其特征在于： 所述转运槽本体 (8)内设有多个等间距设置的挡板(10)， 挡板(10)与转运槽本体(8)内壁固定连接， 挡板 (10)底部设有流 通孔(12)， 挡板(10)上 方设有多个大孔(13)， 大孔(13)上 方设有小孔(14)。 2.根据权利要求1所述的三氟化氮电解液转运槽， 其特征在于： 所述转运槽本体(8)内 壁和挡板(10)两侧壁上分别设有聚四氟乙烯防腐涂层(9)。 3.根据权利要求2所述的三氟化氮电解液转运槽， 其特征在于： 所述转运槽本体(8)外 壁上设有 多个加热环(2)。 4.根据权利要求1至3中任一项所述的三氟化氮电解液转运槽， 其特征在于： 所述转运 槽本体(8)下方设有转运车(1)， 转运车(1)底部设有移动轮(3)， 转运车(1)前后两端分别设 有固定架(6)， 固定架(6)上设有把手(15)。 5.根据权利要求4所述的三氟化氮电解液转运槽， 其特征在于： 所述固定架(6)与转运 槽本体(8)之间设有橡胶缓冲垫(7)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216734335 U 2三氟化氮电解液转运槽 技术领域 [0001]本实用新型属于三氟化氮加工领域， 具体地说， 尤其涉及一种三氟化氮电解液转 运槽。 背景技术 [0002]三氟化氮在常温下是一种无色、 无臭、 性质稳定的气体， 是一种强氧化剂。 目前， 高 纯三氟化氮在芯片制造、 半导体元件、 高能激光器方面得到了大量的运用。 三氟化氮通常采 用电解法制备， 在生产过程中离不开电解液， 而当电解槽突发泄漏或电解液临时需要存储 转运时， 经常会用到电解液转运槽。 转运时， 随着转运车的移动， 尤其在转运车急刹车时， 电 解液会在转运槽内剧烈晃动， 电解液具有一定的腐蚀性， 在转运过程中会损坏转运槽， 同时 电解液晃动， 不利于操作人员 掌控转运车。 且电解液在转运时， 热量损失会导致电解液凝 固， 不利用于三氟化氮的制备。 发明内容 [0003]本实用新型要解决的技术问题是： 克服现有技术的不足， 提供一种三氟化氮电解 液转运槽， 其结构简单， 使用方便， 转运槽本体内增设多个挡板， 可有效缓冲电解液转运过 程中的剧烈晃动， 同时转 运槽本体外通过多个加热环进行保温， 避免了电解液凝固。 [0004]所述的三氟化氮电解液转运槽， 包括转运槽本体， 转运槽本体一端设有密封进液 口， 转运槽本体另一端底部设有密封出液 口， 所述转运槽本体内设有多个等间距设置的挡 板， 挡板与转运槽本体内壁固定连接， 挡板底部设有流通孔， 挡板上方多个设有大孔， 大孔 上方设有小孔。 [0005]优选地， 所述 转运槽本体内壁和挡板 两侧壁上分别设有聚四氟乙烯防腐涂层。 [0006]优选地， 所述 转运槽本体外壁上设有 多个加热环。 [0007]优选地， 所述转运槽本体下方设有转运车， 转运车底部设有移动轮， 转运车前后两 端分别设有固定架， 固定架上设有把手。 [0008]优选地， 所述固定架与转 运槽本体之间设有橡胶缓冲垫 。 [0009]与现有技 术相比， 本实用新型的有益效果是： [0010]1、 本实用新型在转运槽本体内增设多个等间距设置的挡板， 且挡板底部设有使电 解液的液面持平的流 通孔， 从而使各个挡板的受力均衡； [0011]2、 挡板上流通孔的上方设有交错设计的大孔和小孔， 交错设置的大孔和小孔可有 效缓解电解液在发生剧烈晃动时， 挡板受到的冲力， 从而保护了转 运槽本体和挡板； [0012]3、 转运槽本体和挡板上通过静电喷涂工艺设有聚四氟乙烯防腐涂层， 聚四氟乙烯 防腐涂层可有效避免电解液腐蚀 设备， 延长 了设备的使用寿命； [0013]4、 转运槽本体外增设加热环， 加热环可避免电解液降温凝固。说　明　书 1/2 页 3 CN 216734335 U 3