(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211074334.4 (22)申请日 2022.09.03 (71)申请人 福建久策气体股份有限公司 地址 350100 福建省福州市闽侯县南屿镇 玉田村玉屿86号 (72)发明人 高兆林　殷玲　高梦涵　侯琳熙　 (74)专利代理 机构 北京维正专利代理有限公司 11508 专利代理师 李旦华 (51)Int.Cl. H01L 21/687(2006.01) H01L 21/67(2006.01) H01L 21/02(2006.01) H01L 33/00(2010.01) B08B 7/00(2006.01)B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种LED晶圆清洗 夹具及清洗设备 (57)摘要 本申请公开了一种LED晶圆清洗夹具及清洗 设备， 涉及LED晶圆生产制造技术领域， 改善了 无 法均匀清理各个晶圆的问题， 一种LED晶圆清洗 夹具设置在LED晶圆清洗设备上， LED晶圆清洗设 备包括反应釜， 反应釜开设有容纳腔， 容纳腔腔 底开设有通气孔； 包括底环、 转动环、 支撑架以及 若干个安装环， 转动环转动连接在底环上， 反应 釜上设置有转动组件， 安装环上设置有固定组 件， 支撑架包括两个支撑板； 安装环上设置有两 个安装轴， 支撑板包括两个控制板， 控制板开设 有支撑槽， 控制板还设置有活动杆， 支撑板上设 置有活动部， 底环上设置有抵接块， 控制板设置 有控制横条， 控制横条上设置有稳固组件， 控制 横条上设置有解锁组件。 本申请能够均匀清理各 个晶圆。 权利要求书2页 说明书7页 附图10页 CN 115312444 A 2022.11.08 CN 115312444 A 1.一种LED晶圆清洗夹具， 其特征在于： 设置在LED晶圆清洗设备上， LED晶圆清洗设备 包括反应釜 （3） ， 反应釜 （3） 开设有容纳腔 （3 3） ， 容纳腔 （3 3） 腔底开设有通气孔 （34） ； 包括底环 （6） 、 转动环 （7） 、 支撑架 （8） 以及若干个安装环 （9） ， 所述底环 （6） 设置在容纳 腔 （33） 腔底处， 所述底环 （6） 开设有多个透气孔 （61） ， 所述转动环 （7） 转动连接在底环 （6） 上， 反应釜 （3） 上设置有控制转动环 （7） 旋转的转动组件 （10） ， 所述安装环 （9） 上设置有若干 个固定晶圆 （4） 的固定组件 （21） ， 所述支撑架 （8） 包括两个相互平行的支撑板 （81） ， 所述支 撑板 （81） 设置在底 环 （6） 上； 所述安装环 （9） 上设置有两个安装轴 （24） ， 所述支撑板 （81） 包括两个控制板 （811） ， 所 述控制板 （811） 远离转动环 （7） 的一侧分别开设有供两个安装轴 （24） 沿竖直方向滑移的支 撑槽 （8111） ， 两个所述控制板 （811） 的交界处为中位面 （23） ， 所述控制板 （811） 还设置有活 动杆 （25） ， 所述活动杆 （25） 靠近安装轴 （24） 的一侧能够抵接在安装轴 （24） 上， 所述支撑板 （81） 上设置有若干个活动部 （26） ， 所述活动部 （26） 由两个或一个沿中位面 （23） 相对称的安 装轴 （24） 和活动杆 （25） 组成； 所述底环 （6） 上设置有抵接块 （65） ， 所述抵接块 （65） 上设有供活动杆 （25） 抵接控制活 动杆 （25） 朝远离底环 （6） 方向滑移的导斜面 （651） ， 所述活动部 （26） 沿安装轴 （24） 距离中位 面 （23） 由远至近顺序排布， 所述活动杆 （25） 排列顺序与活动部 （26） 排列顺序保持一致， 所 述转动环 （7） 在旋转过程中， 所述活动杆 （25） 根据排列顺序依次抵 接在抵接块 （65） 上； 所述控制板 （811） 远离抵接环的一侧 设置有控制横条 （27） ， 所述控制横条 （27） 位于底 环 （6） 的上端处， 最靠近中位面 （23） 的所述安装轴 （24） 为解锁轴 （29） ， 所述控制横条 （27） 上 设置有当除解锁轴 （29） 之外的安装轴 （2 4） 抵接在控制横条 （27） 上时， 固定安装轴 （24） 的稳 固组件 （30） ， 所述控制横条 （27） 上设置有当解锁轴 （29） 抵接在控制横条 （27） 上时， 解除稳 固组件 （3 0） 对安装轴 （24） 固定效果的解锁组件 （43） 。 2.根据权利要求1所述的一种LED晶圆清洗夹具， 其特征在于： 所述转动组件 （10） 包括 若干个吹气管 （101） 和若干个设置在转动环 （7） 外周侧的引导板 （102） ， 所述吹气管 （101） 对 准引导板 （102） ， 所述引导板 （102） 倾斜设置， 若干个所述引导板 （102） 和吹气管 （101） 均绕 转动环 （7） 转动中心线方向阵列排布。 3.根据权利要求2所述的一种LED晶圆清洗夹具， 其特征在于： 所述固定组件 （21） 包括 固定块 （211） 、 固定螺杆 （212） 以及固定螺帽 （213） ， 所述固定块 （211） 设置在安装环 （9） 内环 壁上， 固定螺杆 （212） 设置在固定块 （211） 上， 所述固定螺帽 （213） 螺纹连接在固定螺杆 （212） 上， 若干个所述固定 螺杆 （212） 之间形成供晶圆 （4） 放置的固定空间 （2 2） 。 4.根据权利 要求3所述的一种LED晶圆清洗夹具， 其特征在于： 所述安装环 （9） 包括固定 环 （91） 和旋转环 （92） ， 所述旋转环 （92） 转动连接在固定环 （91） 上， 所述固定块 （211） 设置在 旋转环 （92） 内壁上， 所述安装轴 （24） 设置在固定环 （91） 上， 所述旋转环 （92） 上设置有若干 个导向板 （922） ， 所述导向板 （922） 倾斜设置， 若干个所述导向板 （922） 绕旋转环 （92） 转动中 心线方向阵列排布。 5.根据权利要求4所述的一种LED晶圆清洗夹具， 其特征在于： 所述稳固组件 （30） 包括 设置在控制横条 （27） 上的插接块 （301） 和 若干个滑移在插接块 （301） 上的稳固块 （302） ， 所 述安装轴 （24） 开设有供插接块 （301） 卡入的插接槽 （241） ， 所述插接槽 （241） 槽壁上开设有 供稳固块 （302） 卡入的稳固槽 （242） ， 所述插接块 （301） 上设置有若干个控制稳固块 （302） 靠权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115312444 A 2近稳固槽 （242） 方向滑移的弹性件 （41） ， 所述稳固块 （302） 上设有供安装轴 （24） 抵接控制稳 固块 （302） 朝靠近插接块 （3 01） 方向滑 移的导向面 （3 021） 。 6.根据权利要求5所述的一种LED晶圆清洗夹具， 其特征在于： 所述弹性件 （41） 为抵接 弹簧 （411） ， 所述稳固块 （302） 设置有两个， 所述抵接弹簧 （411） 的一端抵接在其中一个稳固 块 （302） 上， 所述抵 接弹簧 （41 1） 的另一端抵 接在另一个稳固块 （3 02） 上。 7.根据权利要求6所述的一种LED晶圆清洗夹具， 其特征在于： 所述解锁组件 （43） 包括 抵接杆 （431） 和 若干个解锁绳 （432） ， 所述控制横条 （27） 上开设有供抵接杆 （431） 滑移的抵 接槽 （272） ， 所述解锁绳 （432） 的一端设置在抵接杆 （431） 上， 所述解锁绳 （432） 的另一端抵 接在稳固块 （302） 远离稳固槽 （242） 的一侧端面上， 所述控制板 （811） 上设置有给控制杆朝 靠近底环 （6） 方向滑 移的复位弹簧 （4 4） 。 8.根据权利要求7所述的一种LED晶圆清洗夹具， 其特征在于： 所述控制横条 （27） 上滑 移有安装螺杆 （28） ， 所述控制板 （811） 远离底环 （6） 的一侧开设有与安装螺杆 （28） 螺纹部相 适配的安装槽 （81 13） 。 9.一种LED晶圆清洗设备， 其特征在于： 包括处理装置 （1） 和反应釜 （3） ， 所述反应釜 （3） 设置在处理装置 （1） 上， 根据权利要求1 ‑8任意一项的LED晶圆清洗夹具设置在反应釜 （3） 上。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115312444 A 3