(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告 号
(45)授权公告日
(21)申请 号 202221240110.1
(22)申请日 2022.05.23
(73)专利权人 聚时科技 (深圳) 有限公司
地址 518001 广东省深圳市罗湖区黄贝街
道新谊社区爱国路1038号华深大厦4
层4号
(72)发明人 冯宏 吴昌力 郑军
(74)专利代理 机构 武汉天领众智专利代理事务
所(普通合伙) 42300
专利代理师 王能德
(51)Int.Cl.
G01N 21/88(2006.01)
G01N 21/01(2006.01)
(54)实用新型名称
一种表面 缺陷检测用视 觉模组
(57)摘要
本实用新型提供一种表面缺陷检测用视觉
模组, 包括: 罩体, 所述罩体上开设有光通道, 所
述光通道 开设有入口、 与所述入口中心轴重合的
第一光出口以及与所述入口间隔的第二光出口,
所述罩体上还设有第一光源; 第二光源, 所述第
二光源安装于所述光通道的上方; 图像生成装
置, 所述图像生成装置安装于所述罩体外部并位
于所述光通道的上方; 分光镜, 所述分光镜安装
于所述光通道内并位于所述第二光源的正下方;
反光镜, 所述反光镜安装于所述光通道内并与所
述分光镜间隔设置, 所述反光镜位于所述图像生
成装置的正下方; 第一旋转支架, 所述第一旋转
支架安装于所述光通道内并夹持分光镜; 第二旋
转支架, 所述第二旋转支架安装于所述光通道内
并夹持反光镜 。
权利要求书1页 说明书4页 附图2页
CN 217425239 U
2022.09.13
CN 217425239 U
1.一种表面 缺陷检测用视 觉模组, 其特 征在于, 包括:
罩体(1), 所述罩体(1)上开设有光通道, 所述光通道开设有入口(11)、 第一光出口(12)
以及第二 光出口(13), 所述 罩体(1)上还设有第一 光源(14);
第二光源(2), 所述第二 光源(2)安装于所述 光通道的上 方;
图像生成装置(3), 所述图像生成装置(3)安装于所述罩体(1)外部并位于所述光通道
的上方;
分光镜(4), 所述分光镜(4)安装于所述 光通道内并位于所述第二 光源(2)的正下 方;
反光镜(5), 所述反光镜(5)安装于所述光通道内并与所述分光镜(4)间隔设置, 所述反
光镜(5)位于所述图像生成装置(3)的正下 方;
第一旋转支 架(6), 所述第一旋转支 架(6)安装于所述 光通道内并夹持分光镜(4);
第二旋转支 架(7), 所述第二旋转支 架(7)安装于所述 光通道内并夹持反光镜(5)。
2.如权利要求1所述的表面缺陷检测用视觉模组, 其特征在于, 所述入口(11)与所述第
一光出口(12)的中心轴重合, 所述入口(1 1)与所述第二 光出口(13)间隔分布。
3.如权利要求1所述的表面缺陷检测用视觉模组, 其特征在于, 所述罩体(1)的内壁具
有弧面, 所述分光镜(4)安装于所述 罩体(1)的光 通道的入口(1 1)处。
4.如权利要求3所述的表面缺陷检测用视觉模组, 其特征在于, 所述弧面涂覆有钢琴烤
漆。
5.如权利要求3所述的表面缺陷检测用视觉模组, 其特征在于, 所述第 一光源(14)的数
量为多个, 多个第一 光源(14)对称设置 于所述弧面的两端。
6.如权利要求1所述的表面缺陷检测用视觉模组, 其特征在于, 所述第一旋转支架(6)
包括连接杆(61)、 伸缩 杆(62)以及夹持治具(63); 所述连接杆(61)转动安装于所述罩体(1)
的顶部上并位于所述光通道内, 所述伸缩 杆(62)连接于所述连接杆(61)与夹持治具(63)之
间。权 利 要 求 书 1/1 页
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2一种表面缺陷检测用视觉模组
【技术领域】
[0001]本实用新型 涉及视觉检测技 术领域, 尤其涉及一种表面 缺陷检测用视 觉模组。
【背景技术】
[0002]高密度蚀刻 类引线框架作为集成电路的芯片载体, 是一种借助于键合材料(金丝、
铝丝、 铜丝)实现芯片内部电路引出端与外引线的电气连接, 形成电气回路的关键基础结构
件, 它起到了和外部导线连接的桥梁作用, 绝大部分的半导体集成块中都需要使用引线框
架, 是电子信息产业中重要的基础材 料。
[0003]随着电子产品往微小型化、 智能化和低功耗方向发展, 为了满足整机产品高密度
组装要求, 集成电路封装向着高集成、 高性能、 多引线、 窄间距的方向进阶, 导致产品质量检
测要求越来越高。
[0004]目前高密度引线框架检测对于半蚀刻 区、 轮廓区域检测要求高。 因此需要设计一
套全新的检测光源及视 觉模组, 力求在关键区域 提供高质量的图像。
[0005]鉴于此, 实有必要提供一种新型的表面 缺陷检测用视 觉模组以克服上述 缺陷。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型的目的是提供一种表面缺陷检测用视觉模组, 能够在源头上提供高质
量的图像, 进 而提升设备的检测精度和可靠性, 真正实现自动化智能化的生产目标。
[0007]为了实现上述目的, 本实用新型提供一种表面 缺陷检测用视 觉模组, 包括:
[0008]罩体, 所述罩体上开设有光通道, 所述光通道开设有入口、 与所述入口中心轴重合
的第一光出口以及与所述入口间隔的第二 光出口, 所述 罩体上还设有第一 光源;
[0009]第二光源, 所述第二 光源安装于所述 光通道的上 方;
[0010]图像生成装置, 所述图像生成装置安装于所述罩体外部并位于所述光通道的上
方;
[0011]分光镜, 所述分光镜安装于所述 光通道内并位于所述第二 光源的正下 方;
[0012]反光镜, 所述反光镜安装于所述光通道内并与所述分光镜间隔设置, 所述反光镜
位于所述图像生成装置的正下 方;
[0013]第一旋转支 架, 所述第一旋转支 架安装于所述 光通道内并夹持分光镜;
[0014]第二旋转支 架, 所述第二旋转支 架安装于所述 光通道内并夹持反光镜 。
[0015]优选的, 所述入口与所述第一光出口的中心轴重合, 所述入口与所述第二光出口
间隔分布。
[0016]优选的, 所述罩体的内壁具有弧面, 所述分光镜安装于所述罩体的光通道的入口
处。
[0017]优选的, 所述弧面涂覆有钢琴烤漆。
[0018]优选的, 所述第一 光源的数量 为多个, 多个第一 光源对称设置 于所述弧面的两端。
[0019]优选的, 所述第一旋转支架包括连接杆、 伸缩杆以及夹持治具; 所述连接杆转动安说 明 书 1/4 页
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专利 一种表面缺陷检测用视觉模组
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