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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221212049.X (22)申请日 2022.05.20 (73)专利权人 江苏汇成光电有限公司 地址 225128 江苏省扬州市邗江区扬州高 新技术产业开发区金荣路19号 (72)发明人 王雪梅 华丹丹 聂存香 韩慧 杨爱平 吴展超 (74)专利代理 机构 南京苏科专利代理有限责任 公司 32102 专利代理师 王峰 (51)Int.Cl. G01R 31/28(2006.01) G01R 1/04(2006.01) G01N 21/84(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种辅助分析电性测试不良品的治具 (57)摘要 本实用新型公开了半导体分析测试领域内 的一种辅助分析电性测试不良品的治具, 包括外 边框, 外边框中部设置有矩形安装槽, 安装槽内 对应设置有支撑板, 支撑板上设置有至少7道相 互平行的横向分隔线, 支撑板上还设置有至少1 道纵向分隔线, 纵向分隔线与横向分隔线相垂 直, 所述支撑板上经各纵向分隔线、 横向分隔线 等分为至少16个矩形放置区域, 支撑板的各相应 放置区域内均放置有两个待测试晶粒; 支撑板的 每个放置区域内均设有 标记检测数量的标号。 本 实用新型能够解决重复摆放需分析的IC晶粒浪 费时间, 且占用工显平台的问题, 不仅取放IC晶 粒方便, 而 且各晶粒紧密相邻, 方便查看分析。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 217561662 U 2022.10.11 CN 217561662 U 1.一种辅助分析电性测试不良品的治具, 其特征在于, 包括外边框, 外边框 中部设置有 矩形安装槽, 安装槽内对应设置有支撑板, 支撑板上设置有至少7道相互平行的横向分隔 线, 支撑板上还设置有至少1道纵向分隔线, 纵向分隔线与横向分隔线相垂直, 所述支撑板 上经各纵向分隔线、 横向分隔线等分为至少16个矩形放置区域, 支撑板的各相应放置区域 内均放置有两个待测试晶粒; 支撑 板的每个放置区域内均设有标记检测数量的标号。 2.根据权利要求1所述的一种辅助分析电性测试不良品的治具, 其特征在于, 所述支撑 板上设置有 7道沿纵向等间隔分布的横向分隔线, 支撑板上设置有1道平分各横向分隔线的 纵向分隔线。 3.根据权利要求2所述的一种辅助分析电性测试不良品的治具, 其特征在于, 所述支撑 板第一列的八个放置区域依次纵向设有标号2、 标号4、 标号6、 标号8、 标号10、 标号12、 标号 14、 标号16; 支撑板第二列的八个放置 区域依次纵向设有标号18、 标号20、 标号22、 标号24、 标号26、 标号28、 标号3 0、 标号32。 4.根据权利要求1 ‑3任一项所述的一种辅助分析电性测试不良品的治具, 其特征在于, 所述外边框呈矩形, 外边框的安装槽的四个内壁均设置有安装台阶, 支撑板下侧的四边分 别支撑在对应安装台阶上, 支撑 板下侧与安装台阶粘接固定, 支撑 板的材质为塑料。 5.根据权利要求1 ‑3任一项所述的一种辅助分析电性测试不良品的治具, 其特征在于, 所述外边框上侧设置有围成矩形的防滑遮挡凸起, 外边框的材质为塑料。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 217561662 U 2一种辅助分析电性测试不良品的 治具 技术领域 [0001]本实用新型属于半导体分析测试领域, 特别涉及 一种辅助分析电性测试不良品的 治具。 背景技术 [0002]COF产品在生产过程中, 都要进行电性测 试, 防止电性不良品续流到下一道工序。 电性测试出的不良产品需要进一步分析不良的原因和缺陷, 现有技术中分析不良IC产品 时, 人员需将分析的样品逐颗放置到工显平台上, 对晶体外观进行分析, 其弊端在于: 1.人 员手动将需分析晶粒放置工显平台上, 平台长期频繁移动, 会加快平台损坏; 2.样品分析结 束, 需要逐颗将晶粒取下, 准备放置下一生产批样品, 取下 的过程耗时较长, 影响正常工作 效率; 3.分析过程若中断, 需要重新摆放, 会增加分析样 品摆放次数; 4. 仅能单人作业, 他 人无法协助作业。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的是提供一种辅助分析电性测试不良品的治具, 能够 解决重复摆 放需分析的IC晶粒浪费时间, 且占用工显平台的问题, 不仅取放IC晶粒方便, 而且各晶粒紧 密相邻, 方便查看分析。 [0004]本实用新型的目的是这样实现的: 一种辅助分析电性测试不良品的治具, 包括外 边框, 外边框中部设置有矩形安装槽, 安装槽内对应设置有支撑板, 支撑板上设置有至少7 道相互平行的横向分 隔线, 支撑板上还设置有至少1道纵向分 隔线, 纵向分隔线与横向分隔 线相垂直, 所述支撑板上经各纵向分 隔线、 横向分 隔线等分为至少16个矩形放置区域, 支撑 板的各相应放置区域内均放置有两个待测试晶粒; 支撑板的每个放置区域内均设有标记检 测数量的标号。 [0005]本实用新型用于放置 晶粒, 便于在显微镜下分析查看电性测试不良的原因, 使用 时, 用治具承接晶体, 产品在各放置区域放置紧密方便观看分析, 不会浪费时间; 用治具承 接晶体, 产品分析完成直接将晶粒收起来, 不需要人员一个一个拿, 节省时间; 可让他人协 助将需分析的晶粒样品提前摆好; 放置带有编号的承接治具, 快速简洁知道分析数量, 做更 好的异常分析。 与现有技术相比, 本实用新型的有益效果在于: 1.分析样品时, 将样品放承 接盘上, 再放置到显微镜平台上, 节约时间; 2.此晶体承接盘治具可循环使用, 带有数字编 号, 便于记录对应生产批分析数量; 3.此晶体承接盘治具可循环使用, 操作方便。 本实用新 型用于完成COF段电性测试不良晶粒产品分析。 [0006]作为本实用新型的进一步改进, 所述支撑板上设置有7道沿纵向等间隔分布的横 向分隔线, 支撑 板上设置有1道 平分各横向分隔线的纵向分隔线。 [0007]作为本实用新型的进一步改进, 所述支撑板第一列的八个放置区域依次纵向设有 标号2、 标号4、 标号6、 标号8、 标号10、 标号12、 标号14、 标号16; 支撑板第二列的八个放置 区 域依次纵向设有标号18、 标号20、 标号22、 标号24、 标号26、 标号28、 标号30、 标号32。 晶体承说 明 书 1/3 页 3 CN 217561662 U 3
专利 一种辅助分析电性测试不良品的治具
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