(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221329848.5 (22)申请日 2022.05.30 (73)专利权人 昂坤视觉 （北京） 科技有限公司 地址 102200 北京市昌平区沙河镇昌平路 97号7幢5层5 03-1室 专利权人 北京昂坤半导体设备有限公司 (72)发明人 李瑞青　马铁中　李心怡　胡文韬　 (74)专利代理 机构 北京清亦华知识产权代理事 务所(普通 合伙) 11201 专利代理师 何世磊 (51)Int.Cl. G01N 21/88(2006.01) G01N 21/01(2006.01) H01L 21/66(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 光学检测设备 (57)摘要 一种光学检测设备， 包括： 物镜； 第一镜头组 件； 第二镜头组件； 分光组件， 连接于物镜、 第一 镜头组件及第二镜头组件； 明场照明组件， 连接 于第一镜头组件并用于发出明场光源， 明场光源 的光束经第一镜头组件、 分光组件及物镜后出射 至待检测物上以形成明场照明光路； 暗场照明组 件， 用于发出暗场光源， 暗场光源的光束从物镜 外部出射至待检测物上以形成暗场照明光路； 通 过分光组件将暗场光源下物镜所得的图像和 明 场光源下物镜所得的图像分别成像至第二镜头 组件和第一镜头组件中， 并由第二镜头组件和第 一镜头组件进行二次成像。 本实施例在同一个设 备同时实现明场和暗场的检测， 提高晶圆的缺陷 检出率及检测效率。 权利要求书2页 说明书8页 附图6页 CN 217638742 U 2022.10.21 CN 217638742 U 1.一种光学检测设备， 其特 征在于， 包括： 物镜， 用于获取待检测物在明场光源下的第一图像， 以及用于获取待检测物在暗场光 源下的第二图像； 第一镜头组件， 用于对所述第一图像进行二次成像； 第二镜头组件， 用于对所述第二图像进行二次成像； 分光组件， 连接 于所述物镜、 所述第一镜 头组件及所述第二镜 头组件； 明场照明组件， 连接于所述第一镜头组件并用于发出所述明场光源， 所述明场光源的 光束经所述第一镜头组件、 所述分光组件及所述物镜后出射至待检测物上以形成明场照明 光路； 暗场照明组件， 用于发出所述暗场光源， 所述暗场光源的光束从所述物镜外部出射至 待检测物上以形成暗场照明光路； 其中， 所述分光组件能够将所述明场照明光路进行导向 以使所述明场照明光路进入所 述物镜， 所述分光组件能够将所述第一图像的传输光路进 行导向以使 所述第一图像能够二 次成像至所述第一镜头组件， 以及， 所述分光组件能够将所述第二图像的传输光路进行导 向以使所述第二图像能够二次成像至所述第二镜 头组件。 2.如权利要求1所述的光学检测设备， 其特征在于， 所述分光组件包括分光镜筒和置于 所述分光镜筒内的第一分光元件， 所述分光镜筒设有用于连接所述物镜的第一连接端、 与 所述第一连接端邻向设置并用于连接所述第一镜头组件的第二连接端， 以及与所述第一连 接端对向设置并用于连接所述第二镜头组件的第三连接端， 所述第一分光元件用于对所述 明场光源的光束进 行反射， 并用于对所述第一图像的传输光路进 行反射； 以及， 所述第一分 光元件用于对所述第二图像的传输光路进行透射。 3.如权利要求2所述的光学检测设备， 其特征在于， 所述第 一镜头组件包括连接于所述 第二连接端的移像镜筒、 设于所述移像镜筒中的移像镜组以及连接于所述移像镜筒远离所 述分光组件一端的明场成像组件， 所述第一图像的传输光路经所述移像镜组传输至所述明 场成像组件。 4.如权利要求3所述的光学检测设备， 其特征在于， 所述移像镜组包括多个同轴设置的 透镜。 5.如权利要求3所述的光学检测设备， 其特征在于， 所述明场成像组件包括第一镜筒、 设于所述第一镜筒中的明场成像镜组以及设于所述第一镜筒远离所述移像镜筒一端的第 一相机， 所述第一图像的传输光路经所述明场 成像镜组后传输至所述第一相 机； 所述第二 镜头组件包括第二镜筒、 设于所述第二镜筒中的暗场成像镜组以及设于所述第二镜筒远离 所述分光组件一端的第二相机， 所述第二图像的传输光路经所述暗场成像镜组后传输至所 述第二相机 。 6.如权利要求5所述的光学检测设备， 其特征在于， 所述明场成像组件还包括设置在所 述第一镜筒中的第二分光元件， 所述第二分光元件能够将所述明场照明光路导向以使 所述 明场照明光路向远离所述第一相机的方向传输至待检测物上， 所述第二分光元件能够将所 述第一图像的传输光路导向以使所述第一图像二次成像至所述第一相机 。 7.如权利要求5所述的光学检测设备， 其特征在于， 所述明场成像组件还包括两端分别 连接于所述移像镜筒和所述第一镜筒的反射镜筒以及设于所述反射镜筒中的第一反射镜，权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217638742 U 2所述明场照明光路经所述第一反射镜反射至所述移像镜筒， 所述第一图像的传输光路经所 述反射镜反射至所述第一镜筒。 8.如权利要求7所述的光学检测设备， 其特征在于， 所述第一镜筒垂直于所述移像镜 筒， 且所述第一镜筒与所述第二镜筒设于所述移像镜筒的同侧。 9.如权利要求1所述的光学检测设备， 其特征在于， 所述分光组件包括分光镜筒和置于 所述分光镜筒内的第一分光元件， 所述分光镜筒设有用于连接所述物镜的第一连接端、 与 所述第一连接端邻向设置并用于连接所述第二镜头组件的第二连接端， 以及与所述第一连 接端对向设置并用于连接所述第一镜头组件的第三连接端， 所述第一分光元件用于对所述 明场光源的光束进 行透射， 并用于对所述第一图像的传输光路进 行透射； 以及， 所述第一分 光元件用于对所述第二图像的传输光路进行反射。 10.如权利要求2 ‑9任一项所述的光学检测设备， 其特征在于， 所述第一分光元件为二 向色镜。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217638742 U 3