(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123299960.7 (22)申请日 2021.12.24 (73)专利权人 北海惠科半导体科技有限公司 地址 536005 广西壮 族自治区北海市工业 园区北海大道东延线336号广西惠科 科技有限公司16幢三楼3 01室 (72)发明人 杨杰　任宏志　 (74)专利代理 机构 北京华夏泰和知识产权代理 有限公司 1 1662 专利代理师 石鸣宇 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/95(2006.01) (54)实用新型名称 光学显微镜用底座机构以及光学显微镜 (57)摘要 本申请涉及芯片加工技术领域， 具体涉及一 种光学显微镜用底座机构以及光学显微镜， 该底 座机构具体包括： 支撑架， 其中一个壁面设置有 具有可变量程的光栅检测组件； 底座本体， 可升 降安装于 所述支撑架的一侧， 底 座本体的其中一 端凸设有与光栅检测组件相配合的读数头； 以及 第一位置检测组件， 通过支 撑杆安装于底座本体 一侧， 且与底座本体之间存在间隙； 综上所述， 采 用本申请的设计可以保证已完成检测的晶圆可 以精准的放置于初始安装位内， 同时配合可变量 程的光栅检测组件设计可以有效避免出现跳片 现象， 保证 检测效率。 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 CN 216978795 U 2022.07.15 CN 216978795 U 1.一种光学显微镜用底座机构， 其特 征在于， 包括： 支撑架， 其中一个壁 面设置有具有可变量 程的光栅检测组件； 底座本体， 可升降安装于所述支撑架 的一侧， 所述底座本体的其中一端凸设有与所述 光栅检测组件相配合的读数头； 以及第一位置检测 组件， 通过支撑杆安装于所述底座本体一侧， 且与所述底座本体之 间存在间隙。 2.根据权利要求1所述的光学显微镜用底座机构， 其特征在于， 所述光栅检测组件包 括： 相配合的驱动部和光栅标尺， 所述驱动部沿着竖直方向安装于所述支撑架上， 所述 驱动 部的自由端与所述光栅标尺相连接， 用于驱动所述光栅标尺沿着竖直方向在所述支撑架上 做往复运动。 3.根据权利要求2所述的光学显微镜用底座机构， 其特征在于， 所述驱动部设置为丝杆 结构， 所述丝杆结构包括： 相配合的丝杆本体和移动部， 所述丝杆本体转动连接于所述支撑 架上， 所述 光栅标尺通过 所述移动部活动安装于所述丝杆本体上。 4.根据权利要求3所述的光学显微镜用底座机构， 其特征在于， 所述光栅检测组件还包 括： 相配合的滑块与滑轨， 所述滑轨竖直安装于所述支撑架上， 所述移动部通过滑块滑动安 装于所述滑轨上。 5.根据权利要求2所述的光学显微镜用底座机构， 其特征在于， 所述光栅标尺与所述驱 动部之间通过安装结构可拆卸连接 。 6.根据权利要求5所述的光学显微镜用底座机构， 其特征在于， 所述安装结构包括： 相 配合的第一安装件和 第二安装件， 所述第一安装件和所述第二安装件其中之一安装于所述 光栅标尺上， 另一个安装于所述驱动部上。 7.根据权利要求6所述的光学显微镜用底座机构， 其特征在于， 所述第 一安装件和所述 第二安装件其中之一设置为凸起， 另一个设置为与所述凸起相互配合的凹槽 。 8.根据权利要求1所述的光学显微镜用底座机构， 其特 征在于， 所述支撑架远离所述光栅检测组件的壁面上设置有限位座， 所述限位座内安装有第 二 位置检测组件， 所述底座本体上与所述限位 座相配合的位置凸设有限位件。 9.根据权利要求8所述的光学显微镜用底座机构， 其特征在于， 所述限位座的一端具有 开口， 当所述底座本体沿着所述支撑架升 至预设位置时， 所述限位件 插设于所述限位 座内。 10.一种光学显微镜， 其特 征在于， 包括： 显微镜本体； 如权利要求1 ‑9中任一项所述的底座机构， 可升降安装于所述显微镜 本体的一侧； 片架， 安装于所述底座机构上， 且其内部沿着竖直方向间隔设置有多个安装位， 每个所 述安装位均安装有 待检测晶圆； 机械手， 转动安装于所述片架的一侧； 以及移动架， 转动安装于所述机械手与所述显微镜本体之间， 且所述移动架具有两个 放置位。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216978795 U 2光学显微镜用底座机构以及光学显微镜 技术领域 [0001]本申请涉及芯片加工技术领域， 具体涉及 一种光学显微镜用底座机构以及光学显 微镜。 背景技术 [0002]目前， 对半导体材料内部缺陷的检测， 是衡量和评价半导体质量的重要标准之一， 其内部缺陷主要指内部的杂质、 包裹体等； 目前常用的检测设备为光学显微镜， 该光学显微 镜利用光的反射或散射来检测半导体表面缺陷， 由于缺陷会导致半导体表面不平整， 进而 表现出对光不同的反射、 散射效应。 根据对收到的来半导体表面的光信号进行 处理， 光学显 微镜就可以定位 缺陷的位置 。 [0003]现有技术中待检测的晶圆是放置于片架内， 并将片架安装于显微镜本体的一侧， 并利用机械手将待检测的晶圆吸取， 并移动至显微镜本体下方， 当完成检测 后， 再次利用机 械手将已完成检测的晶圆放会至片架内初始安装位内， 但是， 在上述检测过程中经常会出 现跳片现象， 即本应该放回至第一安装位的 已完成检测的晶圆被放置于第二安装位内， 从 而影响检测效率。 实用新型内容 [0004]本申请的目的在于提供一种光学显微镜用底座机构以及 光学显微镜， 以解决现有 技术中当将完成检测的 晶圆放回至片架中经常会出现跳片的技 术问题。 [0005]为实现上述目的， 本申请第一方面 提供了一种光学显微镜用底座机构， 包括： [0006]支撑架， 其中一个壁 面设置有具有可变量 程的光栅检测组件； [0007]底座本体， 可升降安装于所述支撑架的一侧， 所述底座本体的其中一端凸设有与 所述光栅检测组件相配合的读数头； [0008]以及第一位置检测组件， 通过支撑杆安装于所述底座本体一侧， 且与所述底座本 体之间存在间隙。 [0009]作为本技术方案 的可选方案之一， 所述光栅检测组件包括： 相配合的驱动部和光 栅标尺， 所述驱动部沿着竖直方向安装于所述支撑架上， 所述驱动部的自由端与所述光栅 标尺相连接， 用于驱动所述 光栅标尺沿着竖直方向在所述支撑架上做往复运动。 [0010]作为本技术方案 的可选方案之一， 所述驱动部设置为丝杆结构， 所述丝杆结构包 括： 相配合的丝杆本体和移动部， 所述丝杆本体转动连接于所述支撑架上， 所述光栅标尺 通 过所述移动部活动安装于所述丝杆本体上。 [0011]作为本技术方案 的可选方案之一， 所述光栅检测组件还包括： 相配合的滑块与滑 轨， 所述滑轨竖直 安装于所述支撑架上， 所述移动部通过滑块滑动安装于所述滑轨上。 [0012]作为本技术方案的可选方案之一， 所述光栅标尺与所述驱动部之间通过安装结构 可拆卸连接 。 [0013]作为本技术方案 的可选方案之一， 所述安装结构包括： 相配合的第一安装件和第说　明　书 1/5 页 3 CN 216978795 U 3