(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123363562.7 (22)申请日 2021.12.2 9 (73)专利权人 宁夏申和新材 料科技有限公司 地址 750000 宁夏回族自治区银川市开发 区光明西路25号 (72)发明人 王彦娟　苏鹏　丁亚国　于旭东　 顾燕滨　 (74)专利代理 机构 宁夏三源鑫知识产权代理事 务所(普通 合伙) 6410 5 专利代理师 孙彦虎 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 测量硅片碳、 氧含量的辅助工装 (57)摘要 一种测量硅片碳、 氧含量的辅助工装， 包括 测量装置、 夹持固定装置， 测量装置包括底板、 第 一侧板、 第二侧板， 第一侧板、 第二侧板对向固定 设置在底板的两端， 第一侧板上设置有激光发射 源， 第二侧板上设置有激光接收点， 底板上固定 设置有立板， 立板位于第一侧板、 第二侧板之间 的中间位置， 立板的上部开设有圆孔， 使激光发 射源产生的光线能够穿过， 夹持固定装置设置在 立板与第二侧板之间； 在使用时， 通过将需要测 量的硅片固定在夹持固定装置上， 根据硅片的大 小规格不同， 通过移动夹持固定装置的位置， 以 及调整夹持固定装置的高度， 使需要测量的硅片 能够处于较佳的测量位置， 从而实现对不同规格 大小的硅片的快速测量， 大 大提高了测量效率。 权利要求书1页 说明书3页 附图5页 CN 217112032 U 2022.08.02 CN 217112032 U 1.一种测量硅片碳、 氧含量的辅助工装， 其特征在于： 包括测量装置、 夹持固定装置， 所 述测量装置包括底板、 第一侧板、 第二侧板， 所述第一侧板、 第二侧板对向固定设置在底板 的两端， 所述第一侧板上设置有激光 发射源， 所述第二侧板上设置有激光接收点， 所述底板 上固定设置有立板， 所述立板位于第一侧板、 第二侧板 之间的中间位置， 所述立板的上部开 设有圆孔， 使激光发射源产生的光线能够穿过， 所述夹持固定装置设置在立板与第二侧板 之间， 夹持固定装置用于 夹持需要测量的硅片， 并能够根据硅片的尺寸， 调整硅片的位置 。 2.根据权利要求1所述的测量硅片碳、 氧含量的辅助工装， 其特征在于： 所述夹持固定 装置包括底座、 高度调节杆、 夹持部件， 所述底座设置在底板上， 底座能够沿底板的短边方 向移动， 所述高度调节杆的下部与 底座相连接， 高度调节杆的上端与夹持部件固定连接， 调 整高度调节杆， 能够调整夹持部件距离底板的高度， 所述夹持部件用于固定需要测 量的硅 片。 3.根据权利要求2所述的测量硅片碳、 氧含量的辅助工装， 其特征在于： 所述高度调节 杆的下部与底座螺纹连接 。 4.根据权利要求3所述的测量硅片碳、 氧含量的辅助工装， 其特征在于： 所述底座与底 板滑动连接 。 5.根据权利要求2或4所述的测量硅片碳、 氧含量的辅助工装， 其特征在于： 所述夹持部 件包括基板、 第一夹板、 第二夹板、 锁定调节杆， 所述基板固定 设置在高度调节杆的上端， 所 述第一夹板固定在基板上部表面的一侧， 且第一夹板沿基板的长边方向设置， 所述第二夹 板设置设置在基板的上部表面， 第二夹板与第一夹板对向平行设置， 第二夹板与基板的上 部表面滑动连接， 所述锁定调节杆依次贯穿第一夹板及第二夹板， 调整锁定调节杆， 能够使 锁定调节杆 带动第二夹 板向第一夹 板移动。 6.根据权利要求5所述的测量硅片碳、 氧含量的辅助工装， 其特征在于： 所述锁定调节 杆的端部与第一夹 板转动连接， 锁定调节杆远离端部的部位与第二夹 板螺纹连接 。 7.根据权利要求6所述的测量硅片碳、 氧含量的辅助工装， 其特征在于： 所述第二夹板 上设置有可 供锁定调节杆穿过的连接孔， 所述连接孔与锁定调节杆螺纹连接 。 8.根据权利要求2所述的测量硅片碳、 氧含量的辅助工装， 其特征在于： 所述底座的上 部设置有可供高度调节杆的下部穿过的导向孔， 所述导向孔与高度调节杆的下部螺纹连 接。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217112032 U 2测量硅片碳、 氧含量的辅助工装 技术领域 [0001]本实用新型涉及硅片检测技术领域， 尤其涉及一种测量硅片碳、 氧含量的辅助工 装。 背景技术 [0002]现有技术中， 利用激光测量仪器测量硅片时， 对于6寸以下硅片进行测量时， 零件 距离激光中心测量高度较高， 不利于测量， 以至 于工作效率低， 测量过程中不便 于操作。 发明内容 [0003]为解决上述技术中存在的技术问题， 鉴于此， 有必要提供一种测量硅片碳、 氧含量 的辅助工装。 [0004]一种测量硅片碳、 氧含量的辅助工装， 包括测量装置、 夹持固定装置， 所述测量装 置包括底板、 第一侧板、 第二侧板， 所述第一侧板、 第二侧板对向固定 设置在底板的两端， 所 述第一侧板上设置有激光发射源， 所述第二侧板上设置有激光接 收点， 所述底板上固定设 置有立板， 所述立板位于第一侧板、 第二侧板之间的中间位置， 所述立板的上部开设有圆 孔， 使激光 发射源产生的光线能够穿过， 所述夹持固定装置设置在立板与第二侧板之 间， 夹 持固定装置用于 夹持需要测量的硅片， 并能够根据硅片的尺寸， 调整硅片的位置 。 [0005]优选的， 所述夹持固定装置包括底座、 高度调节杆、 夹持部件， 所述底座设置在底 板上， 底座能够沿底板的短边方向移动， 所述高度调节杆的下部与底座相连接， 高度调节杆 的上端与夹持部件固定连接， 调整高度调节杆， 能够调整夹持部件距离底板的高度， 所述夹 持部件用于固定需要测量的硅片。 [0006]优选的， 所述高度调节杆的下部与底座螺纹连接 。 [0007]优选的， 所述底座与底板滑动连接 。 [0008]优选的， 所述夹持部件包括基板、 第一夹板、 第二夹板、 锁定调节杆， 所述基板固定 设置在高度调节杆的上端， 所述第一夹板固定在基板上部表面的一侧， 且第一夹板沿基板 的长边方向设置， 所述第二夹板设置设置在基板的上部表面， 第二夹板与第一夹板对向平 行设置， 第二夹板与基板的上部表面滑动连接， 所述锁定调节杆依 次贯穿第一夹板及第二 夹板， 调整锁定调节杆， 能够使锁定调节杆 带动第二夹 板向第一夹 板移动。 [0009]优选的， 所述锁定调节杆的端部与第一夹板转动连接， 锁定调节杆远离端部 的部 位与第二夹 板螺纹连接 。 [0010]优选的， 所述第二夹板上设置有可供锁定调节杆穿过的连接孔， 所述连接孔与锁 定调节杆螺纹连接 。 [0011]优选的， 所述底座的上部设置有可供高度调节杆的下部穿过的导向孔， 所述导向 孔与高度调节杆的下部 螺纹连接 。 [0012]由上述技术方案可知， 本实用新型提供的测量硅片碳、 氧含量的辅助工装， 包括测 量装置、 夹持固定装置， 测量装置包括底板、 第一侧板、 第二侧板， 第一侧板、 第二侧板对向说　明　书 1/3 页 3 CN 217112032 U 3