(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122823793.5 (22)申请日 2021.11.17 (73)专利权人 苏州青和环境科技有限公司 地址 215220 江苏省苏州市吴江区江陵街 道叶锦路8 8号 (72)发明人 彭辉　杨小梅　李红领　 (74)专利代理 机构 东莞市卓易专利代理事务所 (普通合伙) 44777 代理人 杨国锋 (51)Int.Cl. C02F 9/04(2006.01) C02F 103/04(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于超纯 水系统的脱氧装置 (57)摘要 本实用新型涉及 超纯水处理技术领域， 且公 开了一种用于超纯水系统的脱氧装置， 包括圆 筒， 所述圆筒的底侧圆形阵列有支腿， 且所述圆 筒的底部外侧固定有电机， 且所述电机的前端铰 接有端头位于所述圆筒内腔的转轴， 且所述转轴 圆形阵列有搅拌杆， 所述圆筒的底端固定有水分 输送泵， 且 所述水分输送泵的底端设有与其他设 备连接的排放管道， 该一种用于超 纯水系统的脱 氧装置， 通过上述， 在需要对超纯水进行脱氧处 理时， 先启动第一水泵， 第一水泵通过第一汲取 管道汲取超 纯水， 在沉淀完成后启动脱氧剂排放 泵， 脱氧剂排放泵通过第三汲取管道汲取脱氧 剂， 从而降低工作人员的劳动成本， 提高工作效 率。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 216005479 U 2022.03.11 CN 216005479 U 1.一种用于超纯水系统的脱氧装置， 其特征在于： 包括圆筒(1)， 所述圆筒(1)的底侧圆 形阵列有支腿， 所述圆筒(1)的顶端固定有第一水泵(2)， 所述第一水泵(2)的左侧固定有与 蓄水池连接的第一汲取管道(3)， 所述第一水泵(2)的底端设有穿过所述圆筒(1)顶端的灌 输管， 所述圆筒(1)的外侧壁固定有真空器(4)， 且 所述真空器(4)的输出端固定有气体排放 管道(5)， 所述圆筒(1)内腔垂直阵列有水淋盘(6)， 且所述水淋盘(6)圆形阵列有通孔(7)， 所述圆筒(1)的外侧壁上固定有脱氧剂灌输器(8)， 所述脱氧剂灌输器(8)的侧壁上设有与 脱氧剂容器连通的第二汲取管道(9)， 且所述脱氧剂灌输器(8)的输出端设有穿过圆筒(1) 侧壁的第一输送管(10)， 所述圆筒(1)的外侧壁设有与所述脱 氧剂灌输器(8)对称的脱 氧剂 排放泵(11)， 且所述脱氧剂排放泵(11)的底端连通有脱氧剂排放管道(12)， 且所述脱氧剂 排放泵(11)的输入端固定有穿过所述圆筒(1)侧壁的第三汲取管道(13)， 且 所述圆筒(1)的 底部外侧固定有电机(14)， 且所述电机(14)的前端铰接有端头位于所述圆筒(1)内腔的转 轴(15)， 且所述转轴(15)圆形阵列有搅拌杆， 所述圆筒(1)的底端 固定有水分输送泵(16)， 且所述水分输送泵(16)的底端设有与其 他设备连接的排 放管道(17)。 2.根据权利要求1所述的一种用于超纯水系统的脱氧装置， 其特征在于： 所述真空器 (4)与所述气体排 放管道(5)的连接处设有止回阀(18)。 3.根据权利要求1所述的一种用于超纯水系统的脱氧装置， 其特征在于： 所述水淋盘 (6)的顶端设有导 流环(19)。 4.根据权利要求1所述的一种用于超纯水系统 的脱氧装置， 其特征在于： 所述第 一水泵 (2)的前后两端均对称有与所述圆筒(1)顶端连接的三角板(20)。 5.根据权利要求1所述的一种用于超纯水系统 的脱氧装置， 其特征在于： 所述气体排放 管道(5)的端头上固定有阻隔网(21)。 6.根据权利要求1所述的一种用于超纯水系统的脱氧装置， 其特征在于： 所述圆筒(1) 内腔顶部固定有过 滤网(22)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216005479 U 2一种用于超纯水系统的脱氧装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及超纯 水处理技术领域， 具体为 一种用于超纯 水系统的脱氧装置 。 背景技术 [0002]超纯水， 又称UP水， 电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水。 常用于集成电路工业中用于 半导体原材料和所用器皿的清洗、 光刻 掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。 此外， 其他 固态电子器件、 厚膜和薄膜电路、 印刷电路、 真空管等的制作也都要 使用超纯 水。 [0003]然而在超纯水进行脱氧处理时， 工作人员难以对超纯水进行处理， 因此有必要针 对这一技术问题进行解决。 实用新型内容 [0004](一)解决的技 术问题 [0005]针对现有技术的不足， 本实用新型提供了一种用于超纯水系统的脱氧装置， 解决 了上述背景技 术中提出的问题。 [0006](二)技术方案 [0007]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种用于超纯水系统的脱氧装 置， 包括圆筒， 所述圆筒的底侧圆形阵列有支腿， 所述圆筒的顶端固定有第一水泵， 所述第 一水泵的左侧固定有与蓄水池连接的第一汲取管道， 所述第一水泵的底端设有穿过所述圆 筒顶端的灌输管， 所述圆筒的外侧 壁固定有真空器， 且所述真空器的输出端固定有气体排 放管道， 所述圆筒内腔垂直阵列有水淋盘， 且所述水淋盘圆形阵列有通孔， 所述圆筒的外侧 壁上固定有脱氧剂灌输器， 所述脱氧剂灌输器的侧壁上设有与脱氧剂容器连通的第二汲取 管道， 且所述脱氧剂灌输器的输出端设有穿过圆筒侧 壁的第一输送管， 所述圆筒的外侧 壁 设有与所述脱氧剂灌输器对称的脱氧剂排放泵， 且所述脱氧剂排放泵的底端连通有脱氧剂 排放管道， 且所述脱氧剂排放泵的输入端固定有穿过所述圆筒侧 壁的第三汲取管道， 且所 述圆筒的底部外侧固定有电机， 且所述电机的前端铰接有端头位于所述圆筒内腔的转轴， 且所述转轴圆形阵列有搅拌杆， 所述圆筒的底端固定有水分输送泵， 且所述水分输送泵的 底端设有与其 他设备连接的排 放管道。 [0008]为了避免外界空气通过气体排放管道进入到圆筒内腔中， 优选 的， 所述真空器与 所述气体排 放管道的连接处设有止回阀。 [0009]为了有效的对 超纯水进行导 流， 优选的， 所述水淋盘的顶端设有导 流环。 [0010]为了有效的避免第一水泵出现脱落， 优选 的， 所述第一水泵的前后两端均对称有 与所述圆筒顶端连接的三角板 。 [0011]为了避免外界杂质进入到真空器内部， 优选 的， 所述气体排放管道的端头上固定 有阻隔网。 [0012]为了过滤掉超纯水在管道输送中附着的杂质， 优选 的， 所述圆筒内腔顶部固定有 过滤网。说　明　书 1/4 页 3 CN 216005479 U 3