(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202111671261.2 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人 重庆广播电视大 学重庆工商职业学 院 地址 400031 重庆市九龙坡区石桥铺科园 一路 (72)发明人 刘旭飞　刘金亭　唐旋恩　贺浩洋　 (74)专利代理 机构 重庆强大凯创专利代理事务 所(普通合伙) 50217 代理人 蒙捷 (51)Int.Cl. G06F 30/20(2020.01) G01D 21/00(2006.01) G06F 111/10(2020.01) (54)发明名称 用于太赫兹功能器件的设计方法及装置 (57)摘要 本发明涉及太赫兹器件的技术领域， 具体为 一种用于太赫兹功能器件的设计方法及装置， 该 方法包括以下内容： 获取技术要求， 根据技术要 求和预设的器件模板生成器件基本框图； 获取结 构参数， 以及结构参数对应的最优数值； 根据最 优数值和器件基本框图进行数值模拟验证， 若验 证通过， 则根据最优数值和器件基本框图进行器 件加工； 根据技术要求对加工后的器件进行性能 测试， 若性能测试未通过， 则对最优数值、 数值模 拟验证、 器件加工进行分析， 根据分析结果优化 最优数值、 数值模拟验证、 器件加工中的一种或 多种， 直到性能测试通过。 采用本方案， 能够解决 现有技术中设计太赫兹功能器件耗时长、 成本 高、 成功率低的技 术问题。 权利要求书2页 说明书7页 附图3页 CN 114297866 A 2022.04.08 CN 114297866 A 1.用于太赫兹功能器件的设计方法， 其特 征在于， 包括以下内容： 获取技术要求， 根据技术要求和预设的器件模板生成器件基本框图； 获取结构参数， 以 及结构参数对应的最优数值； 根据最优数值和器件基本框 图进行数值模拟验证， 若验证通过， 则根据最优数值和器 件基本框图进行器件加工； 根据技术要求对加工后的器件进行性能测试， 若性能测试未通过， 则对最优数值、 数值 模拟验证、 器件加工进行分析， 根据分析结果优化最优数值、 数值模拟验证、 器件加工中的 一种或多种， 直到性能测试通过。 2.根据权利要求1所述的用于太赫兹功能器件的设计方法， 其特征在于， 结构参数包括 设定参数和可变参数， 获取 结构参数对应的最优数值， 包括以下内容： 获取设定参数的参数值； 获取参数 范围， 根据参数扫描方法在参数 范围中获取 可变参数的最优数值。 3.根据权利要求2所述的用于太赫兹功能器件的设计方法， 其特征在于： 对最优数值、 数值模拟验证、 器件加工进行分析， 包括以下内容： 根据参数扫描方法再次获取 结构参数的最优数值， 对比两次最优数值； 根据最优数值和器件基本 框图再次进行 数值模拟验证， 对比两次验证结果； 根据结构参数获取加工后器件的实际数值， 对比实际数值和最优数值。 4.根据权利要求3所述的用于太赫兹功能器件的设计方法， 其特征在于： 分析结果包括 数值分析结果、 验证分析结果和加工分析结果， 根据分析结果优化最优数值、 数值模拟验 证、 器件加工中的一种或多种， 包括以下内容： 对比数值分析结果、 验证分析结果和加工分析结果筛选误差最大的分析结果， 根据筛 选出的分析 结果所对应的最优数值、 数值模拟验证或器件加工进行优化。 5.根据权利要求1所述的用于太赫兹功能器件的设计方法， 其特征在于： 数值模拟验证 时， 通过Matlab、 Com solMultiphyscis、 MPB和M EEP中的一种或多种进行 数值模拟验证。 6.根据权利要求1所述的用于太赫兹功能器件的设计方法， 其特征在于： 器件加工时， 通过激光打孔、 激光切 划和离子刻蚀中的一种或多种进行器件加工 。 7.根据权利要求6所述的用于太赫兹功能器件的设计方法， 其特征在于， 还包括以下内 容： 若性能测试 未通过， 获取并存 储加工后器件的器件信息； 在器件加工前还 包括以下内容： 根据最优数值和器件信息进行匹配， 当存在匹配项时， 根据最优数值和器件基本框 图 对匹配的器件进行器件加工 。 8.根据权利要求7所述的用于太赫兹功能器件的设计方法， 其特征在于： 器件信 息包括 结构参数， 结构参数包括晶体间距； 根据最优数值和器件信息进 行匹配时， 根据晶体间距进 行匹配。 9.用于太赫兹功能器件的设计装置， 其特征在于： 包括上位机、 加工设备和测试设备， 上位机用于执 行权利要求1 ‑8任一项所述的用于太赫兹功能器件的设计方法； 其中， 上位机用于控制加工设备根据最优数值和器件基本框 图进行器件加工， 还用于 控制测试设备根据技 术要求对加工后的器件进行性能测试。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114297866 A 210.根据权利要求9所述的用于太赫兹功能器件的设计装置， 其特征在于： 测试设备包 括信号发生模块和多个信号接收模块， 信号 发生模块用于产生信号， 并输入加工后的器件， 信号接收模块用于 接收经加工后器件输出的信号。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114297866 A 3