(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221789145.0 (22)申请日 2022.07.12 (73)专利权人 苏州北汀羽电子有限公司 地址 215000 江苏省苏州市高新区华枫路 259号 (72)发明人 杨茗　胡路　 (51)Int.Cl. B08B 1/00(2006.01) B08B 1/04(2006.01) B08B 3/02(2006.01) H01L 21/67(2006.01) H01L 21/683(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆清洗装置用喷淋机构 (57)摘要 本实用新型公开了一种晶圆清洗装置用喷 淋机构， 包括送料架， 所述送料架安装有螺杆a， 所述螺杆a螺纹连接有滑块a， 所述滑块a转动连 接有清洗台， 所述清洗台内安装有真空泵， 所述 真空泵与真空管互通， 所述真空管位于海绵的下 方， 所述送料架固定连接有清洗箱， 所述清洗箱 滑动连接有竖架， 所述竖架转动连接有调节架， 所述调节架内安装有电动推杆b， 所述电动推杆b 固定连接有刷板， 所述刷板表面固定连接有刷 毛， 所述刷板安装有喷淋管， 所述喷淋管与 喷淋 泵互通， 电动推杆b伸缩带动刷架上下移动从而 调整刷取直径， 可对不同直径的晶圆进行清洗； 送料架和可旋转的清洗台配合可自动对晶圆进 行送料清洗 。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217911683 U 2022.11.29 CN 217911683 U 1.一种晶圆清洗装置用喷淋机构， 包括送料架 （3） ， 其特征在于： 所述送料架 （3） 安装有 螺杆a （2） ， 所述螺杆a （2） 螺纹连接有滑块a （19） ， 所述滑块a （19） 转动连接有清洗台 （8） ， 所 述清洗台 （8） 内安装有真空泵 （7） ， 所述真空泵 （7） 与真空管 （6） 互通， 所述真空管 （6） 位于海 绵 （5） 的下方， 所述送料架 （3） 固定连接有清洗箱 （4） ， 所述清洗箱 （4） 滑动连接有竖架 （13） ， 所述竖架 （13） 转动连接有调节架 （11） ， 所述调节架 （11） 内安装有电动推杆b （15） ， 所述电动 推杆b （15） 固定连接有刷板 （18） ， 所述刷板 （18） 表面固定连接有刷毛 （17） ， 所述刷板 （18） 安 装有喷淋管 （9） ， 所述喷淋管 （9） 与喷淋泵 （10） 互通。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置用喷淋机构， 其特征在于： 所述滑块a （19） 内安装有电机 c （22） ， 所述电机 c （22） 的输出端固定连接有转杆 （16） 。 3.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗装置用喷淋机构， 其特征在于： 所述转杆 （16） 贯 穿连接有清洗台 （8） ， 所述 转杆 （16） 插接有滑块b （21） 。 4.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗装置用喷淋机构， 其特征在于： 所述滑块b （21） 螺纹连接有螺杆b （20） ， 所述螺杆b （20） 安装在送料架 （3） 的内部 。 5.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置用喷淋机构， 其特征在于： 所述送料架 （3） 左侧安装有电机a （1） ， 所述电机a （1） 的输出端固定连接有螺杆a （2） 。 6.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置用喷淋机构， 其特征在于： 所述海绵 （5） 粘 接在清洗台 （8） 的内部， 所述清洗箱 （4） 右侧安装有电动推杆a （14） 。 7.根据权利要求6所述的一种晶圆清洗装置用喷淋机构， 其特征在于： 所述电动推杆a （14） 固定连接有竖架 （13） ， 所述竖架 （13） 表面 安装有电机b （12） 。 8.根据权利要求7所述的一种晶圆清洗装置用喷淋机构， 其特征在于： 所述电机b （12） 的输出端固定连接有转轴， 所述 转轴左侧固定连接有调节 架 （11） 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217911683 U 2一种晶圆清洗装 置用喷淋机构 技术领域 [0001]本实用新型涉及一种晶圆清洗装置用喷淋机构， 具体为一种晶圆清洗装置用喷淋 机构， 属于晶圆加工技 术领域。 背景技术 [0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片， 由于其形状为圆形， 故称为晶圆； 在硅晶片上 可加工制作成各种电路元件结构， 而成为有特定电性功能之IC产品。 [0003]现有技术的晶圆加工有以下缺点： 1、 现有晶圆清洗装置仅可对同一直径的晶圆进 行清洗， 不能根据晶圆直径进 行调节清洗范围， 使用不便； 2、 晶圆清洗时需人们手动固定晶 圆后进行清洗， 自动化 程度低， 因此， 针对上述问题进行改进。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种晶圆清洗装置用喷淋机 构， 电动推杆b伸缩带动刷架上下移动 从而调整刷取直径， 可对不同直径的晶圆进行清洗； 送料架和可旋转的清洗台配合可自动对晶圆进行送料清洗 。 [0005]本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的， 一种晶圆清洗装置用喷淋机构， 包括送料架， 所述送料架 安装有螺杆a， 所述螺杆a螺纹连接有滑 块a， 所述滑 块a转动连接有 清洗台， 所述清洗台内安装有真空泵， 所述真空泵与真空管 互通， 所述真空管位于海绵的下 方， 所述送料架固定连接有清洗箱， 所述清洗箱滑动连接有 竖架， 所述竖架 转动连接有调节 架， 所述调节架内安装有电动推杆b， 所述电动推杆b固定连接有刷板， 所述刷板表面固定连 接有刷毛， 所述刷板安装有喷淋管， 所述喷淋管与喷淋泵互通。 [0006]优选的， 所述滑块a 内安装有电机 c， 所述电机 c的输出端固定连接有转杆。 [0007]优选的， 所述 转杆贯穿连接有清洗台， 所述 转杆插接有滑块b。 [0008]优选的， 所述滑块b螺纹连接有螺杆b， 所述螺杆b安装在送料架的内部 。 [0009]优选的， 所述送料架左侧安装有电机a， 所述电机a的输出端固定连接有螺杆a。 [0010]优选的， 所述海绵粘接在清洗台的内部， 所述清洗箱 右侧安装有电动推杆a。 [0011]优选的， 所述电动推杆a 固定连接有竖架， 所述竖架 表面安装有电机b。 [0012]优选的， 所述电机b的输出端固定连接有转轴， 所述 转轴左侧固定连接有调节 架。 [0013]本实用新型的有益效果是： [0014]1、 电动推杆b伸缩带动刷架上下移动从而调整刷取直径， 可对不同直径的晶圆进 行清洗； 把晶圆放在清洗台上固定后清洗台右移带动清洗台上晶圆右移， 右移到最右端后 清洗台旋转90度呈竖直状态， 清洗箱右侧的电动推杆a伸长， 电动推杆a伸长带动连接的竖 架沿清洗箱底部持续向左滑动， 竖架持续左移带动竖架上调节架左移靠近晶圆， 当晶圆直 径较大时， 调节架内电动推杆b伸长， 电动推杆b伸长带动连接的刷板上移， 刷板持续上移 直 至刷板顶端微超过晶圆最上方且刷板足够长， 刷板底端的刷 毛位于晶圆中心点微下方， 刷 板外侧固定有喷淋管且喷淋管上安装的多个 喷淋头插入刷板内， 电动推杆a持续推动竖架说　明　书 1/4 页 3 CN 217911683 U 3