(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222428377.X (22)申请日 2022.09.14 (73)专利权人 无锡京运 通科技有限公司 地址 214183 江苏省无锡市惠山工业 转型 集聚区 （北惠路） (72)发明人 冯震坤　茆春生　 (74)专利代理 机构 无锡睿升知识产权代理事务 所(普通合伙) 32376 专利代理师 肖晨 (51)Int.Cl. B08B 3/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 一种清洗 机插片用溢流装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种清洗机插片用溢流 装置， 包括清洗槽， 所述清洗槽内设有溢流槽， 溢 流槽顶部的两侧均设有溢水口， 溢流槽的两侧外 壁均设有滑槽， 滑槽内滑动连接有滑块， 滑块的 一侧固定连接有溢流板， 溢流板的顶部设有齿 槽， 两个所述滑块之间的顶部固定连接有调节 架， 调节架的顶部转动插接有螺纹杆， 所述溢流 槽的顶部固定连接有第一固定板， 螺纹杆与第一 固定板螺纹插接， 所述溢流槽的两侧外壁均固定 连接有限位柱， 溢流板的一侧设有限位孔。 本实 用新型通过转动螺纹杆使 得滑块在滑槽内滑动， 进而使得溢流板进行移动， 于是调节溢水口的高 度， 从而可自由控制水箱内部水位高低， 进而能 够增加硅片的清洗数量。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 218014493 U 2022.12.13 CN 218014493 U 1.一种清洗机插片用溢流装置， 包括清洗槽(1)， 其特征在于， 所述清洗槽(1)内设有溢 流槽(2)， 溢流槽(2)顶部的两侧均 设有溢水口(3)， 溢流槽(2)的两侧外壁均 设有滑槽(4)， 滑槽(4)内滑动连接有滑块(5)， 滑 块(5)的一侧固定连接有溢流板(6)， 溢流板(6)的顶部设 有齿槽(7)， 两个所述滑块(5)之间的顶部固定连接有调节架(8)， 调节架(8)的顶部转动插 接有螺纹杆(10)， 所述溢流槽(2)的顶部固定连接有第一固定板(9)， 螺纹杆(10)与第一固 定板(9)螺纹插接， 所述溢流槽(2)的两侧外壁均固定连接有限位柱(17)， 溢流板(6)的一侧 设有限位孔(18 )， 限位柱(17)在限位孔(18)滑动， 所述溢流槽(2)的底部插接有溢水管 (12)， 溢水 管(12)的顶端 套接有套管(13)， 套管(13)的一侧设有固定 螺钉(14)。 2.根据权利要求1所述的一种清洗机插片用溢流装置， 其特征在于， 所述螺纹杆(10)的 顶端固定连接有调节把手(1 1)。 3.根据权利要求1所述的一种清洗机插片用溢流装置， 其特征在于， 所述清洗槽(1)的 一侧插接有两个清洗管(15)， 清洗管(15)的另一端穿过溢流槽(2)的一侧。 4.根据权利要求1所述的一种清洗机插片用溢流装置， 其特征在于， 所述溢流槽(2)的 两侧内壁之间固定连接有安装块(16)， 安装块(16)与清洗管(15)接触。 5.根据权利要求1所述的一种清洗机插片用溢流装置， 其特征在于， 所述溢水管(12)的 另一端与溢流槽(2)连通。 6.根据权利要求1所述的一种清洗机插片用溢流装置， 其特征在于， 所述清洗槽(1)的 底部插接有两个排水管(21)， 清洗槽(1)的底部外壁固定连接有第二固定板(20)， 排水管 (21)与第二固定板(20)插接， 其中一个排水管(21)的一侧插接有连接管(19)， 连接管(19) 的另一端与溢水 管(12)连通， 排水 管(21)的一端和溢水 管(12)的一端设有堵头(23)。 7.根据权利要求1所述的一种清洗机插片用溢流装置， 其特征在于， 所述清洗槽(1)的 一侧插接有 多个补水 管(22)。 8.根据权利要求1所述的一种清洗机插片用溢流装置， 其特征在于， 所述清洗槽(1)的 底部外壁固定连接有 多个支撑座(25)， 清洗 槽(1)的两侧外壁均固定连接有安装板(24)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218014493 U 2一种清洗机插片用溢流装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及硅片清洗用技 术领域， 尤其涉及一种清洗 机插片用溢流装置 。 背景技术 [0002]半导体器件生产中硅片须经严格清洗， 微量污染也会导致器件失效， 清洗 的目的 在于清除表面污染杂质， 具体的， 在硅片的插片清洗过程中， 需要使用溢流的方法清洗表 面 的资杂质， 该 过程中需要用到溢流装置 。 [0003]目前， 现有的清洗机插片用溢流装置， 只设置有溢流口， 并未设置可调节的溢流 板， 不能够 控制水箱内部水位的高低， 导致不能够增加硅片的清洗数量， 从而影响清洗机的 清洗效率。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点， 而提出的一种清洗机插片 用溢流装置 。 [0005]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技 术方案： [0006]一种清洗机插片用溢流装置， 包括清洗槽， 所述清洗槽内设有溢流槽， 溢流槽顶部 的两侧均设有溢水口， 溢流槽的两侧外壁均设有滑槽， 滑槽内滑动连接有滑块， 滑块的一侧 固定连接有溢流板， 溢流板的顶部 设有齿槽， 两个所述滑块之 间的顶部固定连接有调节架， 调节架的顶部转动插接有螺纹杆， 所述溢流槽的顶部固定连接有第一固定板， 螺纹杆与第 一固定板螺纹插接， 所述溢流槽的两侧外壁均固定连接有限位柱， 溢流板的一侧设有限位 孔， 限位柱在限位孔滑动， 所述溢流槽的底部插接有溢水管， 溢水管 的顶端套接有套管， 套 管的一侧设有固定 螺钉。 [0007]进一步的， 所述螺纹杆的顶端固定连接有调节把手。 [0008]进一步的， 所述清洗槽 的一侧插接有两个清洗管， 清洗管的另一端穿过溢流槽的 一侧。 [0009]进一步的， 所述溢流槽的两侧内壁之间固定连接有安装块， 安装块与清洗管接触。 [0010]进一步的， 所述溢水 管的另一端与溢流槽连通。 [0011]进一步的， 所述清洗槽 的底部插接有两个排水管， 清洗槽 的底部外壁固定连接有 第二固定板， 排水管与第二固定板插接， 其中一个排水管的一侧插接有 连接管， 连接管的另 一端与溢水 管连通， 排水 管的一端和溢水 管的一端设有堵头 。 [0012]进一步的， 所述清洗 槽的一侧插接有 多个补水 管。 [0013]进一步的， 所述清洗槽 的底部外壁固定连接有多个支撑座， 清洗槽 的两侧外壁均 固定连接有安装板 。 [0014]本实用新型的有益效果 为： [0015]1、 通过转动螺纹杆使得滑块在滑槽内滑动， 进而使得溢流板进行移动， 于是调节 溢水口的高度， 从而可自由控制水箱内部水位高低， 进 而能够增 加硅片的清洗数量。说　明　书 1/3 页 3 CN 218014493 U 3