(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221792011.4 (22)申请日 2022.07.12 (73)专利权人 苏州清越光电科技股份有限公司 地址 215300 江苏省苏州市昆山市高新区 晨丰路18 8号 (72)发明人 周志锋　杨宗苓　李勇　 (74)专利代理 机构 北京远智汇知识产权代理有 限公司 1 1659 专利代理师 康亚健 (51)Int.Cl. B01D 29/68(2006.01) B01D 29/03(2006.01) B01D 29/92(2006.01) B01D 29/52(2006.01) B05C 11/10(2006.01) (54)实用新型名称 一种具有反洗功能的过滤装置及涂胶设备 (57)摘要 本实用新型涉及滤芯清洗技术领域， 具体公 开了一种具有反洗功能的过滤装置及涂胶设备。 该装置包括过滤模块和反洗模块， 过滤模块包括 依次连通的过滤液供液组件、 输出件和用于过滤 从过滤液供液组件流向输出件的过滤液的滤芯； 反洗模块包括反洗管道和清洗液回收组件， 清洗 液回收组件位于滤芯上游， 且滤芯能够选择性地 与过滤液供液组件或清洗液回收组件 连通， 反洗 管道位于 滤芯下游， 且滤芯能够选择性地与输出 件或反洗 管道连通， 反洗管道上安装有清洗液供 液组件和废滤液回收组件， 反洗管道能够选择性 地与清洗 液供液组件或废滤液回收组件连通。 该 装置通过设置反洗结构， 能够清洗滤芯并将残留 的清洗液排出， 从而完成对滤芯的反洗操作， 提 升过滤效果。 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 CN 217724794 U 2022.11.04 CN 217724794 U 1.一种具有反洗功能的过 滤装置， 其特 征在于， 包括： 过滤模块， 包括依次连通的过滤液供液组件(200)、 滤芯(100)和输出件， 所述滤芯 (100)用于过 滤从所述过 滤液供液组件(20 0)流向所述输出件的过 滤液； 反洗模块， 包括反洗管道(930)和清洗液回收组件(400)， 所述清洗液 回收组件(400)位 于所述滤芯(100)的上游， 且所述滤芯(100)能够选择性地与所述过滤液供液组件(200)或 所述清洗液回收组件(400)连通， 所述反洗管道(930)位于所述滤芯(100)的下游， 且所述滤 芯(100)能够选择性地与所述输出件或所述反洗管道(930)连通， 所述反洗管道(930)上安 装有清洗液供液组件(300)和废滤液回收组件(500)， 所述反洗管道(930)能够选择性地与 所述清洗液 供液组件(3 00)或所述废滤 液回收组件(5 00)连通。 2.根据权利要求1所述的具有反洗功能的过滤装置， 其特征在于， 所述具有反洗功能的 过滤装置还包括第一驱动单元， 所述第一驱动单元用于驱动所述过滤液供液组件(200)内 的所述过 滤液流出。 3.根据权利要求1所述的具有反洗功能的过滤装置， 其特征在于， 所述具有反洗功能的 过滤装置还包括第二驱动单元， 所述第二驱动单元用于驱动所述清洗液供液组件(300)内 的清洗液流出。 4.根据权利要求1 ‑3任一项所述的具有反洗功能的过滤装置， 其特征在于， 所述具有反 洗功能的过滤装置还包括第一三通阀(610)， 所述第一三通阀(610)用于控制所述反洗管道 (930)与所述清洗液 供液组件(3 00)或所述废滤 液回收组件(5 00)连通。 5.根据权利要求4所述的具有反洗功能的过滤装置， 其特征在于， 所述清洗液供液组件 (300)通过第一连通管道(920)与所述第一三通阀(610)连通， 所述废滤液回收组件(500)通 过第二连通管道(980)与所述第一 三通阀(610)连通。 6.根据权利要求1 ‑3任一项所述的具有反洗功能的过滤装置， 其特征在于， 所述具有反 洗功能的过滤装置还包括第二三通阀(620)， 所述第二三通阀(620)用于控制所述滤芯 (100)与所述输出件或所述反洗管道(93 0)连通。 7.根据权利要求6所述的具有反洗功能的过滤装置， 其特征在于， 所述滤芯(100)通过 第三连通管道(940)与所述第二三通阀(620)连通， 所述输出件通过输出管道(910)与所述 第二三通阀(620)连通。 8.根据权利要求1 ‑3任一项所述的具有反洗功能的过滤装置， 其特征在于， 所述具有反 洗功能的过滤装置还包括第三三通阀(630)， 所述第三三通阀(630)用于控制所述滤芯 (100)与所述过 滤液供液组件(20 0)或所述清洗液回收组件(40 0)连通。 9.根据权利要求8所述的具有反洗功能的过滤装置， 其特征在于， 所述滤芯(100)通过 第四连通管道(950)与所述第三三通阀(630)连通， 所述清洗液回收组件(400)通过第五连 通管道(960)与所述第三三通阀(630)连通， 所述过滤液供液组件(200)通过第六连通管道 (970)与所述第三 三通阀(630)连通。 10.一种涂胶设备， 其特征在于， 包括权利要求1 ‑9任一项所述的具有反洗功能的过滤 装置， 所述过 滤液为光刻胶， 所述输出件为接 涂头或出胶口。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217724794 U 2一种具有反洗功能的过滤装 置及涂胶设 备 技术领域 [0001]本实用新型涉及滤芯清洗技术领域， 尤其涉及一种具有反洗功能的过滤装置及涂 胶设备。 背景技术 [0002]随着微电子制造 的重要性愈发凸显， 光刻工艺作为微电子制造 的关键一环， 技术 不断地创新与发展， 对光刻工艺的要求也 随之升高。 光刻工艺包括涂胶工艺、 曝光工艺、 显 影工艺， 涂胶工艺作为光刻工艺的基础， 在产线中使用频率很高。 其中， 涂胶工艺作为半导 体、 手机、 光伏和芯片等电子产品的重要制作环节， 为本领域内的技术人员重点关注和研 究。 [0003]如图1所示， 半导体或面板工艺中的涂胶工艺需要使用囊式滤芯100 ’对光刻胶供 液组件200’中的崭新光刻胶或二手回收胶 进行过滤， 然后再通过输出管道910 ’输送至接涂 头或出胶口， 光刻胶供液组件200 ’通过涂胶管道920 ’与囊式滤芯100 ’连通。 二手回收胶主 要是在旋涂胶工艺中产生的， 电子产品加工的旋涂工艺中光刻胶利用率较低， 此过程中浪 费的光刻 胶常作为 二手回收胶进行回收利用。 [0004]然而在过滤一段时间后， 由于二手回收胶中杂质过多或涂胶管道920 ’内壁脏污的 因素， 会使囊式滤芯100 ’变得脏污， 致使 过滤效果变差， 需要对囊式滤芯100 ’频繁地进行更 换， 由此影 响了涂胶的效果， 且增加了囊式滤芯100 ’的损耗， 提升了涂胶工艺的成本。 目前， 对崭新光刻胶 进行过滤的囊式滤芯100 ’更换周期一般为每两个月一次， 对二手回收胶进 行 过滤的囊式滤芯10 0’更换周期一般为半个月更 换一次。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的在于提供一种具有反洗功能的过滤装置及涂胶设备， 以实现对 滤芯的反洗操作， 进 而提升过 滤的效果。 [0006]为达此目的， 本实用新型采用以下技 术方案： [0007]一种具有反洗功能的过滤装置， 包括过滤模块和 反洗模块； 所述过滤模块包括依 次连通的过滤液供液组件、 滤芯和输出件， 所述滤芯用于过滤从所述过滤液供液组件流向 所述输出件的过滤液； 所述反洗模块包括反洗管道和清洗液回收组件， 所述清洗液回收组 件位于所述滤芯的上游， 且所述滤芯能够选择性地与所述过滤液供液组件或所述清洗液回 收组件连通， 所述反洗管道位于所述滤芯的下游， 且所述滤芯能够选择性地与所述输出件 或所述反洗管道连通， 所述反洗管道上安装有清洗液供液组件和废滤液回收组件， 所述反 洗管道能够选择性 地与所述清洗液 供液组件或所述废滤 液回收组件连通。 [0008]作为具有反洗功能的过滤装置的优选技术方案， 所述具有反洗功能的过滤装置还 包括第一驱动单元， 所述第一驱动单元用于驱动所述过滤液供液组件内的所述过滤液流 出。 [0009]作为具有反洗功能的过滤装置的优选技术方案， 所述具有反洗功能的过滤装置还说　明　书 1/5 页 3 CN 217724794 U 3