(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222179374.7 (22)申请日 2022.08.18 (73)专利权人 李祥庆 地址 214000 江苏省无锡市江阴市华士镇 向阳路8- 5号 (72)发明人 李祥庆　 (74)专利代理 机构 无锡智麦知识产权代理事务 所(普通合伙) 3249 2 专利代理师 陈磊勇 (51)Int.Cl. B01F 27/90(2022.01) B01F 35/12(2022.01) B01F 35/80(2022.01) (54)实用新型名称 一种正胶显 影液自动配制装置 (57)摘要 本实用新型涉及正胶显影液制备技术领域， 具体是一种正胶显影液自动配制装置， 包括有顶 板配制罐， 所述配制罐的顶部设有置放箱， 所述 置放箱的内部设有搅拌组件， 所述搅拌组件包括 有长杆， 所述长杆的一端贯穿延伸至配制罐的内 部， 所述长杆的顶部外壁呈螺纹设置， 所述长杆 的顶部外壁与配制罐的内壁呈螺纹连接， 所述长 杆的两侧外壁均固定连接有多个搅拌杆， 本实用 新型通过搅拌组件的设置， 对配制罐内的液体进 行充分的搅拌混合， 具体是第二电机， 第二电机 带动转块转动， 转块带动限位块转动， 限位块带 动弧形槽在滑轨内滑动， 弧形槽带动长杆移动， 长杆因为跟配制罐螺纹连接， 长杆在向下的同时 进行转动， 稳定提高配制的效率， 确保产品质量， 实用性强。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 218047512 U 2022.12.16 CN 218047512 U 1.一种正胶显影液自动 配制装置， 包括有顶板配制罐(1)， 其特征在于： 所述配制罐(1) 的顶部设有置放箱(3)， 所述置放箱(3)的内部设有搅拌组件， 所述搅拌组件包括有长杆 (24)， 所述长杆(24)的一端贯穿延伸至配制罐(1)的内部， 所述长杆(24)的顶部外壁呈螺纹 设置， 所述长杆(24)的顶部外壁与配制罐(1)的内壁呈螺纹连接， 所述长杆(24)的两侧外壁 均固定连接有多个搅拌杆(25)， 所述配制罐(1)的底部设有底座(2)， 所述底 座(2)的内部 设 有清理组件。 2.根据权利要求1所述一种正胶显影液自动配制装置， 其特征在于： 所述置放箱(3)的 内部设有第二电机(20)， 所述第二电机(20)的输出端通过转轴固定连接有转块(21)， 所述 转块(21)的前侧一端固定连接有限位块(22)， 所述置放箱(3)的内部两端设有滑轨， 两个所 述滑轨的内壁滑动连接有弧形槽(23)， 所述弧形槽(23)与限位块(22)滑动连接， 所述弧形 槽(23)的一侧固定连接有固定块， 所述固定块与长杆(24)转动连接 。 3.根据权利要求1所述一种正胶显影液自动配制装置， 其特征在于： 所述清理组件包括 有第一电机(7)， 所述第一电机(7)的输出端固定连接有转轴， 所述转轴贯穿延伸至配制罐 (1)的内部， 所述转轴的一侧外壁固定连接有 连接杆(17)， 所述连接杆(17)的外壁一端固定 连接有清理刷(27)。 4.根据权利要求1所述一种正胶显影液自动配制装置， 其特征在于： 所述配制罐(1)的 一侧设有四甲基氢氧化铵储 罐(4)， 所述四甲基氢氧化铵储 罐(4)的顶部设有第一水泵(6)， 所述第一水泵(6)的两端均密封连接有第一输送管(5)， 所述其中一个第一输送管(5)的一 端贯穿延伸至四甲基氢氧化铵储 罐(4)的内部， 另一个所述第一输送管(5)的一端贯穿延伸 至配制罐(1)的内部 。 5.根据权利要求4所述一种正胶显影液自动配制装置， 其特征在于： 所述配制罐(1)远 离四甲基氢氧化铵储罐(4)的一侧设有水洗槽(14)， 所述水洗槽(14)的顶部设有两个气泵 (11)， 所述其中一个气泵(11)的两端均密封连接有第四输送管(13)， 所述其中一个第四输 送管(13)的一端贯穿延伸至水洗槽(14)的内部， 所述另一个第四输送管(13)的一端贯穿延 伸至配制罐(1)的内部， 所述另一个气泵(11)的两端密封连接有第三输送管(12)， 所述其中 一个第三输送管(12)的一端贯穿延伸至水洗槽(14)的内部， 所述水洗槽(14)的一侧设有氨 气罐(18)， 所述另一个第三输送管(12)的一端贯 穿延伸至氨气罐(18)的内部 。 6.根据权利要求5所述一种正胶显影液自动配制装置， 其特征在于： 所述氨气罐(18)的 一侧设有氢氧化钾储罐(16)， 所述氢氧化钾储罐(16)的顶部设有第二水泵(15)， 所述第二 水泵(15)的两端密封连接有第五输送管(19)， 所述其中一个第五输送管(19)的一端贯穿延 伸至氢氧化钾储罐(16)的内部， 所述另一个第五输送管(19)的一端贯穿延伸至配制罐(1) 的内部。 7.根据权利要求1所述一种正胶显影液自动配制装置， 其特征在于： 所述置放箱(3)的 一侧设有进水管(8)， 所述配制罐(1)远离四甲基氢氧化铵储罐(4)的一侧设有 聚乙二醇进 液口(9)， 所述配制罐(1)的前侧开设有可视窗(10)， 所述配制罐(1)的一侧开设有出料口 (26)， 所述出 料口(26)的内部设有 塞子， 所述配制罐(1)的前侧设有控制按 钮(28)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218047512 U 2一种正胶显影液自动配制装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及正胶显影液制备技术领域， 特别是涉及 一种正胶显影液自动配制 装置。 背景技术 [0002]TMAH， 即四甲基氢氧化铵可以作为光刻制程中的正胶显影液， 其配置方法使将四 甲基氢氧化铵储罐内的四甲基氢氧化铵输送至配制罐中， 由清水储罐向配制罐通入清水对 四甲基氢氧化铵进行稀释 至2.4％， 在配制罐中按照3:1:1  的比例通入聚乙二醇、 水洗后的 氨气以及氢氧化钾， 最终四甲基氢氧化铵的浓度为2.38％， 其中通入的聚乙二醇为表面活 性剂， 可以使得正胶显影液成品的表面张力由传统的75～76mN/m降低至48～52mN/m， 通入 的氢氧化钾 为添加剂， 使得正胶显影液成品在空气 中先由氢氧化钾于二氧化碳发生反应， 从而避免四甲基氢 氧化铵与二氧化 碳接触发生反应， 避免形成斑点。 [0003]现有的正胶显影液的配制目前都是由人工完成， 人工配制过程繁琐、 劳动强度大、 精度低、 容易出差错， 而且存在危险性大、 人力成本高等缺点， 并且各组分之间的混合不够 均匀， 影响产品 品质。 [0004]因此， 现在亟需设计一种能解决上述问题的一种正胶显影液自动配制装置 。 实用新型内容 [0005]为解决现有技术中存在的一个或者多个问题， 本实用新型提供了一种正胶显影液 自动配制装置 。 [0006]本实用新型为达到上述目的所采用的技术方案是： 一种正胶显影液自动配制装 置， 包括有顶板配制罐， 所述配制罐 的顶部设有置放箱， 所述置放箱的内部设有搅拌组件， 所述搅拌组件包括有长杆， 所述长杆的一端贯穿延伸至配制罐的内部， 所述长杆的顶部外 壁呈螺纹设置， 所述长杆 的顶部外壁与配制罐 的内壁呈螺纹连接， 所述长杆 的两侧外壁均 固定连接有 多个搅拌杆， 所述配制罐的底部设有底座， 所述底座的内部设有清理 组件。 [0007]优选的， 所述置放箱的内部设有第二电机， 所述第二电机 的输出端通过转轴固定 连接有转块， 所述转块的前侧一端固定连接有限位块， 所述置放箱的内部两端设有滑轨， 两 个所述滑轨的内壁滑动连接有弧形槽， 所述弧形槽的一侧固定连接有固定块， 所述固定块 与长杆转动连接 。 [0008]优选的， 所述清理组件包括有第一电机， 所述第一电机的输出端固定连接有转轴， 所述转轴贯穿延伸至配制罐 的内部， 所述转轴的一侧外壁固定连接有连接杆， 所述连接杆 的外壁一端固定连接有清理刷。 [0009]优选的， 所述配制 罐的一侧 设有四甲基氢氧化铵储罐， 所述四甲基氢氧化铵储罐 的顶部设有第一水泵， 所述第一水泵的两端均密封连接有第一输送管， 所述其中一个第一 输送管的一端贯穿延伸至四甲基氢氧化铵储罐的内部， 所述另一个第一输送管的一端贯穿 延伸至配制罐的内部 。说　明　书 1/4 页 3 CN 218047512 U 3