UDC 620. 1. 05 L 97 中华人民共和国国家标准 GB/T 15394-- 94 多探针测试台通用技术条件 General specification for probe tester 国家标准全文公开系统专用，此文本仅供个人学习、研究之用 未经授权，禁止复制、发行、汇编、翻译或网络传播等，侵权必究。 全国标准信息公共服务平台：https：//stdl.samr.gov.cn 1994-.12-28发布 1995-08-01实施 国家技术监督局 发布 中华人民共和国国家标准 GB/T 15394-94 多探针测试台通用技术条件 General specification for probe tester 1 主题内容与适用范围 本标准规定了多探针测试台（以下简称探针台）的术语、技术要求、试验方法、检验规则、包装贮存等 要求。 本标准适用于手动、半自动、全自动多探针测试台。其他类型的探针测试台亦可参照使用。 2 引用标准 GB 191 包装储运图示标志 GBn 193 出口机械、电工、仪器仪表产品包装通用技术条件 GB2681 电工成套装置中的导线颜色 GB 2682 电工成套装置中的指示灯和按钮的颜色 GB3768 噪声源声功率级的测定简易法 GB5080.7设备可靠性试验’恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案 GB5226机床电气设备通用技术条件 GB6388运输包装收发货标志 3术语 3.1探针台probe station 利用金属探针将晶片上芯片的电极与测试仪联接，以完成芯片电参数中间测试的设备。 3.2手动探针台manual probe station 操作步骤全部由人工完成的探针台。 3.3半自动探针台semi-automaticprobestation 能自动完成除图像识别、自动对准之外的所有其他探测步骤的探针台。 3.4全自动探针台fully-automaticprobe station 能自动完成包括图像识别、自动对准在内的所有探测步骤，并具有多种功能的探针台。 3.5探针probe 具有特定机械电气性能和结构尺寸的金属针。 3.6 测试支架 test support 可在一定范围内分别调节探针的X、Y、Z向距离、用以安装固定探针的部件。 3.7探针卡probecard 根据被测芯片电极所需探针的数量及布局，将探针对应固定于一块基板上的卡片。 3.8探边器edge sensor 用来探测探针是否已测至被测晶片边缘的部件。 国家技术监督局1994-12-28批准 1995-08-01实施 1 GB/T 15394—94 3.9打标记器inking system 给性能参数不合格的芯片打上标记的部件。 3.10矩阵控制方式square matrix probing mode 用键盘或拔码开关输入X、Y方向的图形数目及图形间距，用以控制工作台的移动。 4产品分类 按探针台的自动化程度可分为 a. 手动探针台； b．半自动探针台； c．全自动探针台。 5＇技术要求 5.1·一般要求 5.1.1探针台上指示润滑、操作、安全等的标牌或标志，应符合有关标准的规定。 5.1.2探针台一般应有测试完毕后的自动回零、停机、报警等功能。 5.1.3导轨、轴承、齿轮等运动部件应润滑良好，各润滑部位应在具体产品说明中明确规定。 5.1.4探针台测试控制方式一般应具有矩阵控制方式和探边器控制方式。 5.2使用条件 探针台应能在下列使用条件下正常工作。 5.2.1环境条件 a. 温度：23士3℃； h. 相对湿度：不大于70%； c. 空气洁净度：优于10000级。 5.2.21 供电条件 a. 220±10V; 50±1 Hz。 5.3外观要求 5.3.1探针台外表面不允许有凸起、凹陷、毛刺、粗糙、不平和其他损伤现象。 5.3.2外表喷漆颜色均匀，色调一致，平整光滑不得有脱落、龟裂、流挂、起泡、划痕及误喷等现象，套色 不得相污染。 5.3.3电镀及化学涂覆的零件表面应光滑，无斑点、锈蚀、起泡、脱层及明显划痕等缺陷。 5.3.4操作面板及各种标牌应清晰耐久，其中的刻线、数字、文字和图形符号等标志应正确，均匀并有 涂色。 5.4工作台精度要求 5.4.1步进工作台X-Y向的垂直度应在具体的产品标准中规定，其值不得大于0.005mm。 5.4.2步进工作台的定位精度应在具体的产品标准中规定，其值不得大于士0.013mm。 5.4.3步进工作台行进分辨率应在具体的产品标准中规定，其值不得大于0.01mm。 5.4.4步进工作台重复精度应在具体的产品标准中规定，其值不得大于土0.003mm。 5.5承片台 5.5.1承片台在高位时吸盘端面圆跳动应不大于0.015mm（包括吸盘回转及承片台沿X-Y向移动时 的示值误差）。 5.5.2承片台重复精度应在具体产品标准中规定，其值不得大于士0.01mm。 5.5.3承片台z向行程应能在不小于0.8mm的范围内可调。 2