ICS31.030 L90 中华人民共和国国家标准 GB/T32652—2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料 Fusedquartzusedforquartzceramiccruciblesforcastingpolycrystallinesilicon 2016-04-25发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布 前 言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本标准起草单位:国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督检验所、江苏中 腾石英材料科技有限公司、中材高新江苏硅材料有限公司、中国电子技术标准化研究院。 本标准主要起草人:薄雷明、程尚栩、栾振祥、张存君、王祥、许振午、李建德、管琪、冯亚彬。 ⅠGB/T32652—2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料 1 范围 本标准规定了多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料的技术要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运 输和贮存。 本标准适用于太阳能级多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T3284 石英玻璃化学成分分析方法 GB/T8946 塑料编织袋通用技术要求 JC/T2027—2010 高纯石英中杂质含量的测定方法———电感耦合等离子体原子发射光谱法 SJ/T10380—2012 工业用酸洗石英砂 3 产品分类 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料按产品粒度分为熔融石英块料和熔融石英砂料。 4 技术要求 4.1 外观 熔融石英块料外观应为无色透明或半透明,无异色点。 4.2 灼烧失量 熔融石英料灼烧失量应小于0.05%。 4.3 粒度 熔融石英块料应大于或等于830μm;粒径小于830μm的为熔融石英砂料。 4.4 二氧化硅含量 二氧化硅含量应不低于99.95%。 4.5 杂质元素含量 杂质元素总含量应小于80μg/g,各杂质元素的含量应符合表1的规定。 1GB/T32652—2016 表1 杂质元素含量 单位为微克每克 杂质元素 允许含量 铝(Al) ≤50 钙(Ca) ≤25 铁(Fe) ≤20 钠(Na) ≤15 钾(K) ≤20 锂(Li) ≤5 钛(Ti) ≤10 镁(Mg) ≤4.0 硼(B) ≤0.5 磷(P) ≤0.5 5 检验方法 5.1 外观 光照度不低于300lx,距离试样0.5m处目视检查熔融石英料的外观。 5.2 灼烧失量 灼烧失量按照GB/T3284的规定进行测定。 5.3 粒度 粒度按SJ/T10380—2012的规定进行测定。 5.4 二氧化硅含量 二氧化硅含量按照GB/T3284的规定进行测定。 5.5 杂质元素含量 5.5.1 铝、钙、铁、钠、钾、锂、钛、镁、硼元素含量按GB/T3284的规定进行测定。 5.5.2 磷元素含量的测定按JC/T2027—2010规定进行。 6 检验规则 6.1 检验分类 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料的检验分为质量一致性检验和型式检验。 6.2 型式检验 6.2.1 通则 出现下列情况之一时应进行型式检验: 2GB/T32652—2016