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ICS 23.160 J78 备案号:53529—2016 中华人民共和国机械行业标准 JB/T 12585—2016 真空技术 磁悬浮分子泵 Vacuum technologyMagnetic levitated turbomolecular pump 2016-06-01实施 2016-01-15发布 中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T12585—2016 目 次 前言 1 范围.. 1 规范性引用文件. 2 术语和定义, 3 型式与基本参数.. 4 4.1型号表示方法. 4.2基本参数. 5技术要求... 测试方法. 6 6.1 最低工作压力测试 6.2 压缩比测试. 6.3 体积流率测试. 6.4 启动时问测试 6.5 振动测试. 6.6 噪声测试. 转速测试. 6.7 检验规则. 7 7.1 一般要求. 7.2 检验要求.. 8标志、包装、运输和贮存 表 1 磁浮泵的基本参数 JB/T12585—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归口。 本标准起草单位:北京中科科仪股份有限公司、合肥智海光电技术有限公司、川北真空科技(北京) 有限公司、东莞劲胜精密组件股份有限公司、沈阳真空技术研究所。 本标准主要起草人:朱国精、邹蒙、李奇志、刘磊、胡眉、张晨光、陈林、张智明、郑荣禧、王长 明、王玲玲。 本标准为首次发布。 I1

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