ICS 17.180.30 N 35 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T33252—2016 纳米技术 激光共聚焦显微拉曼光谱仪 性能测试 NanotechnologyPerformance testing for laser confocal microscope Raman spectrometers 2016-12-13发布 2017-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T33252—2016 目 次 前言 范围 1 术语和定义 2 3 仪器结构 要求 测试方法 5 6测试报告 附录A（资料性附录） 激光共聚焦显微拉曼光谱仪的构成 附录B（资料性附录） 激光共聚焦显微拉曼光谱仪校准用标准样品 附录C（资料性附录） 测试报告参考格式 参考文献 GB/T33252—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国科学院提出。 本标准由全国纳米技术标准化技术委员会（SAC/TC279）归口。 本标准起草单位：中国计量科学研究院、中国科学院半导体研究所、厦门大学、广州计量测试研究 院、堀场（中国）贸易有限公司。 本标准主要起草人：仟玲玲、谭平恒、任斌、高思田、定翔、干海燕、濮玉梅 I GB/T33252—2016 纳米技术 激光共聚焦显微拉曼光谱仪 性能测试 1范围 本标准规定了激光共聚焦显微拉曼光谱仪的术语和定义、仪器结构、技术要求、测试方法等。 本标准适用于以连续激光为激发光源，具有单级、二级或三级光谱仪的色散型共聚焦显微拉曼光谱 仪（以下简称仪器）。 本标准不适用于傅立叶变换拉曼光谱仪等非色散型拉曼光谱仪和基于脉冲激光光源的拉曼光 谱仪。 术语和定义 2 下列术语和定义适用于本文件 2.1 拉曼光谱 Raman spectrum/spectra 当物质收到单色辐射能照射时，由于非弹性散射产生的已调制频率的光谱。 2.2 拉曼谱线（频带，峰）Ramanline（band，peak） 构成拉曼光谱的谱线（带）。 2.3 拉曼频移 Ramanshift 拉曼谱线（带）的波数相对于入射单色光束波数的位移。 注：单位为cm-l。 2.4 共聚焦confocal 光路（激发和发射在两个位置上聚焦。在共聚焦扫描仪中，激发光聚焦在样品点表面，而发射光聚 焦在针孔上。 2.5 激光共聚焦显微拉曼光谱仪 laserconfocalmicroscopeRamanspectrometer 以激光为激发光源，将拉曼光谱分析技术与显微分析技术结合起来的一种光谱仪。 3仪器结构 从激光器发出的激光经干涉滤光片到达样品表面激发样品，激发光经瑞利滤光片及共聚焦针孔、狭 缝、光栅，最后到达探测器探测拉曼信号。仪器结构示意图见图1。详细内容参见附录A。 1 GB/T33252—2016 10 8 激光 11 12 说明： 1——激光器； 2- 干涉滤光片； 半波片； 3- 4- 瑞利滤光片； 5- 偏振片； 6- 四分之一波片； 7- 共聚焦针孔； 8 一狭缝； 光栅； 9 10 探测器； 11- 显微镜； 12—— 一样品。 图1 常规激光共聚焦显微拉曼光谱仪结构示意图 4要求 4.1 测试条件 环境温度为20℃~25℃，使用温度波动范围不超过士2℃。相对湿度≤60%。电源电压及冷却 水等应符合设备主机及附件要求。 4.2 激光器 由于拉曼光谱特殊性的要求，激光共聚焦显微拉曼系统采用的激光器偏振比不低于100：1。激光 的线宽不大于标称分辨率的1/20。功率的波动不高于5%。 2